O barco de grafite PECVD isostático é amplamente utilizado em vários vínculos da fabricação de semicondutores, como deposição de filmes de polissilício, deposição de filmes de óxido, deposição de filmes de nitreto, etc. Seu excelente desempenho o torna um transportador de bolacha ideal no processo PECVD.
O barco de grafite PECVD semicera é um produto de grafite de alta densidade e alta densidade projetado para suporte a wafer no processo PECVD (deposição de vapor químico aprimorada no plasma). A Semicera usa a tecnologia de prensagem isostática avançada para garantir que o barco de grafite tenha excelente resistência a alta temperatura, resistência à corrosão, estabilidade dimensional e boa condutividade térmica, que é um consumível indispensável no processo de fabricação de semicondutores.
▪ Alta pureza: o material de grafite é de alta pureza e baixo teor de impureza para evitar a contaminação da superfície da wafer.
▪ Alta densidade: alta densidade, alta resistência mecânica, pode suportar alta temperatura e alto ambiente a vácuo.
▪ Boa estabilidade dimensional: pequena mudança dimensional em alta temperatura para garantir a estabilidade do processo.
▪ Excelente condutividade térmica: transfira efetivamente o calor para impedir o superaquecimento da bolas.
▪ Forte resistência à corrosão: capaz de resistir à erosão por vários gases corrosivos e plasma.
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Parâmetro de desempenho |
Semicera | SGL R6510 | Parâmetro de desempenho |
| Densidade em massa (g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
| Força de flexão (MPA) | 63 | 60 | 49 |
| Força de compressão (MPA) | 135 | 130 | 103 |
| Dureza da costa (HS) | 70 | 64 | 60 |
| Coeficiente de expansão térmica （10-6/K）） | 85 | 105 | 130 |
| Coeficiente de expansão térmica （10-6/K）） | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
| Resistividade (μωm) | 11-13 | 13 | 10 |
Vantagens de nos escolher:
▪ Seleção de material: os materiais de grafite de alta pureza são usados para garantir a qualidade do produto.
▪ Tecnologia de processamento: a prensagem isostática é usada para garantir a densidade e a uniformidade do produto.
▪ Personalização de tamanho: barcos de grafite de diferentes tamanhos e formas podem ser personalizados de acordo com as necessidades dos clientes.
▪ Tratamento de superfície: São fornecidos uma variedade de métodos de tratamento de superfície, como revestimento de carboneto de silício, nitreto de boro, etc., para atender aos diferentes requisitos de processo.
