Se você perguntar a um engenheiro de fábrica o que está desacelerando sua linha de difusão de boro, ele geralmente culpará a fornalha, o fluxo de gás ou a receita. Raramente eles culpam o barco – o transportador simples e nada glamoroso que fica parado segurando wafers no tubo. Mas converse com qualquer pessoa que teve que substituir um barco de quartzo rachado no meio do caminho, coberto de névoa branca e espalhando partículas em um lote de wafers no valor de seis dígitos, e você ouvirá uma história diferente.

O barco não é um espectador passivo da difusão do boro. Muitas vezes é a primeira coisa a falhar - e entender o porquê diz muito sobre por que o carboneto de silício (SiC) se tornou silenciosamente o material preferido para esse processo.

O crescimento de cristal único e a epitaxia de carboneto de silício (SiC) normalmente funcionam em temperaturas de forno acima de 1.500°C, com gases reativos como hidrogênio, cloreto de hidrogênio e silano fluindo através da câmara. O grafite é o material estrutural padrão dentro desses fornos – ele conduz bem o calor, é usinado com facilidade e custa relativamente pouco. Mas tem uma fraqueza clara: sob exposição prolongada a altas temperaturas e atmosferas corrosivas, a grafite sofre erosão gradualmente e as partículas de carbono resultantes contaminam o cristal ou a camada epitaxial que cresce nas proximidades.