Cassete semicondutores-Proteja e transporta suas bolachas com precisão usando o cassete semicondutor da Semicera, projetado para garantir a segurança e a eficiência ideais em ambientes de fabricação de alta tecnologia.
Semicera apresenta o Cassete semicondutor, uma ferramenta essencial para o manuseio seguro e eficiente das bolachas durante todo o processo de fabricação de semicondutores. Projetado com alta precisão, este cassete garante que suas bolachas sejam armazenadas e transportadas com segurança, mantendo sua integridade em todas as etapas.
Proteção e durabilidade superiores O Cassete semicondutor A partir de semicera, é construído para oferecer proteção máxima às suas bolachas. Construído a partir de materiais robustos e resistentes à contaminação, protege suas bolachas de possíveis danos e contaminação, tornando-o a escolha ideal para ambientes de sala limpa. O design do cassete minimiza a geração de partículas e garante que as bolachas permaneçam intocadas e seguras durante o manuseio e o transporte.
Design aprimorado para desempenho ideal Semicera Cassete semicondutor Apresenta um design meticulosamente projetado que fornece alinhamento preciso da wafer, reduzindo o risco de desalinhamento e dano mecânico. Os slots do cassete são perfeitamente espaçados para segurar cada wafer com segurança, impedindo qualquer movimento que possa resultar em arranhões ou outras imperfeições.
Versatilidade e compatibilidade O Cassete semicondutor é versátil e compatível com vários tamanhos de bolacha, tornando -a adequada para diferentes estágios de fabricação de semicondutores. Esteja você trabalhando com dimensões padrão ou personalizadas de wafer, esta cassete se adapta às suas necessidades, oferecendo flexibilidade em seus processos de fabricação.
Manuseio e eficiência simplificados Projetado com o usuário em mente, o Semicera semicondutor Cassette é leve e fácil de manusear, permitindo carregamento e descarregamento rápido e eficiente. Esse design ergonômico não apenas economiza tempo, mas também reduz o risco de erro humano, garantindo operações suaves em sua instalação.
Atendendo aos padrões da indústria Semicera garante que o Cassete semicondutor Atende aos mais altos padrões do setor de qualidade e confiabilidade. Cada cassete sofre testes rigorosos para garantir que ele tenha um desempenho consistente nas condições exigentes da fabricação de semicondutores. Essa dedicação à qualidade garante que suas bolachas estejam sempre protegidas, mantendo os altos padrões necessários no setor.
Unid |
Produção |
Pesquisar |
Fictício |
Parâmetros de cristal |
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Polytype |
4H |
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Erro de orientação da superfície |
4±0.15° |
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Parâmetros elétricos |
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Dopante |
nitrogênio do tipo n |
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Resistividade |
0,015-0.025OHM · cm |
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Parâmetros mecânicos |
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Diâmetro |
150,0 ± 0,2 mm |
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Grossura |
350 ± 25 µm |
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Orientação plana primária |
[1-100]±5° |
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Comprimento plano primário |
47,5 ± 1,5 mm |
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Apartamento secundário |
Nenhum |
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TTV |
≤5 µm |
≤10 µm |
≤15 µm |
LTV |
≤3 μm (5mm*5mm) |
≤5 μm (5mm*5mm) |
≤10 μm (5mm*5mm) |
Arco |
-15μm ~ 15μm |
-35μm ~ 35μm |
-45μm ~ 45μm |
Urdidura |
≤35 µm |
≤45 µm |
≤55 µm |
A rugosidade frontal (Si-face) (AFM) |
Ra≤0,2 nm (5μm*5μm) |
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Estrutura |
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Densidade de micropipe |
<1 ea/cm2 |
<10 ea/cm2 |
<15 ea/cm2 |
Impurezas de metal |
≤5E10atoms/cm2 |
N / D |
|
Bpd |
≤1500 ea/cm2 |
≤3000 ea/cm2 |
N / D |
TSD |
≤500 ea/cm2 |
≤1000 ea/cm2 |
N / D |
Qualidade frontal |
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Frente |
Si |
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Acabamento superficial |
Si-face cmp |
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Partículas |
≤60ea/wafer (size≥0,3μm) |
N / D |
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Arranhões |
≤5ea/mm. Comprimento cumulativo ≤DIAMETER |
Comprimento cumulativo ≤2*diâmetro |
N / D |
Casca de laranja/poços/manchas/estrias/rachaduras/contaminação |
Nenhum |
N / D |
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Chips/recuos/fraturas/placas de fratura/placas hexadecimais |
Nenhum |
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Áreas de poliateiro |
Nenhum |
Área cumulativa ≤20% |
Área cumulativa ≤30% |
Marcada a laser dianteira |
Nenhum |
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Qualidade de volta |
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Final traseiro |
CMP C-FACE |
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Arranhões |
≤5ea/mm, comprimento cumulativo≤2*diâmetro |
N / D |
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Defeitos traseiros (chips/recuos de borda) |
Nenhum |
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Rugosidade de volta |
Ra≤0,2 nm (5μm*5μm) |
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Marcação de laser traseiro |
1 mm (da borda superior) |
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Borda |
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Borda |
Chanfro |
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Embalagem |
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Embalagem |
Epi pronto com embalagem a vácuo Embalagem de cassetes de várias linhas |
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*Notas : “NA” significa que nenhum item de solicitação não mencionado pode se referir ao Semi-STD. |