As transportadoras de wafer de grafite revestidas com carboneto de silicone semicera e semicondutor oferecem resistência excepcional e estabilidade térmica para manuseio de bolacha. Escolha Semicera para transportadoras de alto desempenho com tecnologia avançada de revestimento SIC, garantindo maior durabilidade e eficiência em aplicações de semicondutores.
Os portadores de wafer semicorex com revestimento SiC fornecem estabilidade e condutividade térmica excepcionais, garantindo distribuição uniforme de calor durante os processos de DCV, crucial para as características de filme fino e revestimento de alta qualidade.
1. Excelente estabilidade térmica e condutividade Nossos portadores de bolacha revestidos com SIC se destacam na manutenção de temperaturas estáveis e consistentes, cruciais para os processos de CVD. Isso garante distribuição uniforme de calor, levando à qualidade fina de filmes finos e revestimento.
2. Fabricação de precisão Cada transportador de wafer é fabricado com padrões exigentes, garantindo espessura uniforme e suavidade da superfície. Essa precisão é vital para alcançar taxas de deposição consistentes e propriedades de filme em várias bolachas, aumentando a qualidade geral da fabricação.
3. Barreira de impureza O revestimento do SiC atua como uma barreira impermeável, impedindo a difusão de impurezas do suscetador na bolacha. Isso minimiza os riscos de contaminação, o que é crítico para a produção de dispositivos semicondutores de alta pureza.
4. Durabilidade e eficiência de custos A construção robusta e o revestimento SiC aumentam a durabilidade dos portadores de wafer, reduzindo a frequência das substituições de suscetores. Isso leva a menores custos de manutenção e tempo de inatividade minimizado, aumentando a eficiência das operações de fabricação de semicondutores.
5. Opções de personalização Os portadores de wafer de semicorex com revestimento SiC podem ser personalizados para atender aos requisitos específicos do processo, incluindo variações de tamanho, forma e espessura do revestimento. Essa flexibilidade permite a otimização do suscetador para atender às demandas únicas de diferentes processos de fabricação de semicondutores. As opções de personalização permitem o desenvolvimento de projetos de susceptores adaptados para aplicações especializadas, como fabricação ou pesquisa de alto volume, garantindo o desempenho ideal para casos de uso específicos.
Os transportadores semicera de bolacha com revestimento SiC são ideais para:
• Crescimento epitaxial de materiais semicondutores
• Processos de deposição de vapor químico (CVD)
• Produção de bolachas de semicondutores de alta qualidade
• Aplicações avançadas de fabricação de semicondutores
