The TaC Coated MOCVD Graphite Susceptor by Semicera is designed for high durability and exceptional high-temperature resistance, making it perfect for MOCVD epitaxy applications. This susceptor enhances efficiency and quality in Deep UV LED production. Manufactured with precision, Semicera ensures top-notch performance and reliability in every product.
Revestimento TAC is an important material coating, which is usually prepared on a graphite base by metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) technology. This coating has excellent properties, such as high hardness, excellent wear resistance, high temperature resistance and chemical stability, and is suitable for various high-demand engineering applications.
MOCVD technology is a commonly used thin film growth technology that deposits the desired compound film on the substrate surface by reacting metal organic precursors with reactive gases at high temperatures. When preparing Revestimento TAC, selecting appropriate metal organic precursors and carbon sources, controlling reaction conditions and deposition parameters, a uniform and dense TaC film can be deposited on a graphite base.
A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TAC) para vários componentes e transportadores. O processo de revestimento líder de semicera permite revestimentos de carboneto de tantalum (TAC) para obter alta pureza, alta estabilidade de temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto dos cristais SiC/GaN e camadas de EPI (Susceptador TAC revestido com grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TAC de carboneto de tantalum é resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento de cristais, e a semicera resolveu a tecnologia de revestimento de carboneto de tantalum (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Após anos de desenvolvimento, Semicera conquistou a tecnologia de CVD TAC com os esforços conjuntos do departamento de P&D. Defeitos são fáceis de ocorrer no processo de crescimento das bolachas sic, mas depois de usar TAC, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.
Além disso, semicera Produtos revestidos com TAC exibir uma vida útil mais longa e maior resistência de alta temperatura em comparação com Revestimentos SIC. Medições de laboratório demonstraram que nosso Revestimentos TAC pode ter um desempenho consistente em temperaturas de até 2300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
