The TaC Coated Epi Wafer Carrier by Semicera is engineered for superior performance in epitaxial processes. Its tantalum carbide coating offers exceptional durability and high-temperature stability, ensuring optimal wafer support and enhanced production efficiency. Semicera’s precision manufacturing guarantees consistent quality and reliability in semiconductor applications.
TaC coated epitaxial wafer carriers are usually used in the preparation of high-performance optoelectronic devices, power devices, sensors and other fields. This epitaxial wafer carrier refers to the deposition of TAC thin film on the substrate during the crystal growth process to form a wafer with specific structure and performance for subsequent device preparation.
Chemical vapor deposition (CVD) technology is usually used to prepare TaC coated epitaxial wafer carriers. By reacting metal organic precursors and carbon source gases at high temperature, a TaC film can be deposited on the surface of the crystal substrate. This film can have excellent electrical, optical and mechanical properties and is suitable for the preparation of various high-performance devices.
A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TAC) para vários componentes e transportadores. O processo de revestimento líder de semicera permite revestimentos de carboneto de tantalum (TAC) para obter alta pureza, alta estabilidade de temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto dos cristais SiC/GaN e camadas de EPI (Susceptador TAC revestido com grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TAC de carboneto de tantalum é resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento de cristais, e a semicera resolveu a tecnologia de revestimento de carboneto de tantalum (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Após anos de desenvolvimento, Semicera conquistou a tecnologia de CVD TAC com os esforços conjuntos do departamento de P&D. Defeitos são fáceis de ocorrer no processo de crescimento das bolachas sic, mas depois de usar TAC, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.
Além disso, semicera Produtos revestidos com TAC exibir uma vida útil mais longa e maior resistência de alta temperatura em comparação com Revestimentos SIC. Medições de laboratório demonstraram que nosso Revestimentos TAC pode ter um desempenho consistente em temperaturas de até 2300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
