Heating Elements For MOCVD Substrate

Semicera’s Heating Elements for MOCVD Substrate are engineered to provide precise and stable temperature control in Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) processes. Made from high-quality graphite, these heating elements offer exceptional thermal conductivity, uniform heating, and long-term reliability. Ideal for semiconductor manufacturing, LED production, and advanced material applications, Semicera’s heating elements ensure consistent performance, optimizing your MOCVD substrate process for maximum efficiency and quality.

Principais características do aquecedor de grafite:

1. Uniformidade da estrutura de aquecimento.

2. Boa condutividade elétrica e alta carga elétrica.

3. Resistência à corrosão.

4. Inoxidizabilidade.

5. Alta pureza química.

6. Alta resistência mecânica.

A vantagem é eficiente em termos de energia, alto valor e baixa manutenção. Podemos produzir antioxidação e cadinho de grafite de longa duração, molde de grafite e todas as partes do aquecedor de grafite.

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Principais parâmetros do aquecedor de grafite

Especificação técnica

Semicera-M3

Densidade em massa (g/cm3)

≥1.85

Conteúdo de cinzas (ppm)

≤500

Dureza da costa

≥45

Resistência específica (μ.ω.m)

≤12

Força de flexão (MPA)

≥40

Força de compressão (MPA)

≥70

Máx. Tamanho de grão (μm)

≤43

Coeficiente de expansão térmica mm/° C

≤4.4*10-6

MOCVD Substrate Heater_ Heating Elements For MOCVD

Local de trabalho semicera

Local de trabalho semicera 2

Máquina de equipamentos

Processamento da CNN, limpeza química, revestimento de CVD

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