TaC coating is a new generation of high temperature resistant material, with better high temperature stability than SiC, serving as a corrosion-resistant, oxidation-resistant, and wear-resistant coating, can be used in the environment above 2000℃, widely used in aerospace ultra-high temperature hot end parts, the third generation of semiconductor single crystal growth and other fields.
A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TAC) para vários componentes e transportadores. O processo de revestimento líder de semicera permite revestimentos de carboneto de tantalum (TAC) para obter alta pureza, alta estabilidade de temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto dos cristais SiC/GaN e camadas de EPI (Susceptador TAC revestido com grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TAC de carboneto de tantalum é resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento de cristais, e a semicera resolveu a tecnologia de revestimento de carboneto de tantalum (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Após anos de desenvolvimento, Semicera conquistou a tecnologia de CVD TAC com os esforços conjuntos do departamento de P&D. Defeitos são fáceis de ocorrer no processo de crescimento das bolachas sic, mas depois de usar TAC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de bolachas com e sem TAC, bem como as peças de Semicera para o crescimento de cristal único
Além disso, a vida útil dos produtos de revestimento TAC da Semicera é mais longa e mais resistente à alta temperatura do que a do revestimento SiC. Após muito tempo de dados de medição de laboratório, nosso TAC pode trabalhar por um longo tempo a um máximo de 2300 graus Celsius. A seguir estão algumas de nossas amostras:
