41 peças de peças de equipamento MOCVD com base de grafite de 4 polegadas

● Introdução e uso do produto: Colocadas 41 peças de substrato de 4 polegadas, usadas para o crescimento de filmes epitaxiais azul-esverdeados na produção de LED
● Localização do dispositivo do produto: na câmara de reação, em contato direto com o wafer
● Principais produtos a jusante: chips LED
● Mercado final principal: LED

Descrição

 

 

 

 

 

Nossa empresa fornece serviços de processo de revestimento de SiC pelo método CVD na superfície de grafite, cerâmica e outros materiais, para que gases especiais contendo carbono e silício reajam em alta temperatura para obter moléculas de SiC de alta pureza, moléculas depositadas na superfície dos materiais revestidos, formando uma camada protetora de SiC.

 

 

 

 

 

 

41 peças de peças de equipamento MOCVD com base de grafite de 4 polegadas

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Principais recursos

 

 

 

 

 

1. Resistência à oxidação em alta temperatura:
a resistência à oxidação ainda é muito boa quando a temperatura chega a 1600 ℃.
2. Alta pureza: feita por deposição química de vapor sob condições de cloração de alta temperatura.
3. Resistência à erosão: alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
4. Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sal e reagentes orgânicos.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Principais especificações do revestimento CVD-SIC

 

 

 

 

 

Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina Fase β do FCC
Densidade g/cm³ 3.21
Dureza Dureza Vickers 2500
Tamanho do grão milímetros 2~10
Pureza Química % 99.99995
Capacidade de calor J·kg-1·K-1 640
Temperatura de Sublimação 2700
Força Felexural MPa (TR 4 pontos) 415
Módulo de Young Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C) 430
Expansão Térmica (CTE) 10-6K-1 4.5
Condutividade térmica (W/mK) 300

 

 

 

 

 

 

 

 

Local de trabalho semicera

 

 

 

Local de trabalho de Semicera 2

 

 

 

Máquina de equipamento

 

 

 

Processamento CNN, limpeza química, revestimento CVD

 

 

 

Armazém Semicera

 

 

 

Nosso serviço

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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