Substratos de óxido de gálio de 4 ″

Substratos de óxido de gálio de 4 ″-desbloqueie novos níveis de eficiência e desempenho em dispositivos eletrônicos de potência e dispositivos UV com substratos de óxido de gálio de 4 ″ de alta qualidade da Semicera, projetados para aplicações de semicondutores de ponta.

Semicera orgulhosamente apresenta seu Substratos de óxido de gálio de 4 ″, um material inovador projetado para atender às crescentes demandas de dispositivos semicondutores de alto desempenho. Óxido de gálio (GA2O3) Os substratos oferecem um bandGAP de ultra larga, tornando-os ideais para eletrônicos de energia de próxima geração, optoeletrônica UV e dispositivos de alta frequência.

 

Principais recursos:

     • BandGap ultra larga: O Substratos de óxido de gálio de 4 ″ Paste um bastão de aproximadamente 4,8 eV, permitindo a tolerância excepcional de tensão e temperatura, superando significativamente os materiais tradicionais de semicondutores como o silício.

     • Alta tensão de ruptura: Esses substratos permitem que os dispositivos operem em tensões e poderes mais altos, tornando-os perfeitos para aplicações de alta tensão em eletrônicos de energia.

     • Estabilidade térmica superior: Os substratos de óxido de gálio oferecem excelente condutividade térmica, garantindo o desempenho estável em condições extremas, ideal para uso em ambientes exigentes.

     • Alta qualidade de material: Com baixas densidades de defeitos e alta qualidade de cristal, esses substratos garantem desempenho confiável e consistente, aumentando a eficiência e a durabilidade de seus dispositivos.

     • Aplicação versátil: Adequado para uma ampla gama de aplicações, incluindo transistores de potência, diodos Schottky e dispositivos LED UV-C, permitindo inovações nos campos de poder e optoeletrônico.

 

Explore o futuro da tecnologia de semicondutores com a semicera Substratos de óxido de gálio de 4 ″. Nossos substratos são projetados para suportar os aplicativos mais avançados, fornecendo a confiabilidade e a eficiência necessárias para os dispositivos de ponta de hoje. Confie em semicera para qualidade e inovação em seus materiais semicondutores.

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Fictício

Parâmetros de cristal

Polytype

4H

Erro de orientação da superfície

4±0.15°

Parâmetros elétricos

Dopante

nitrogênio do tipo n

Resistividade

0,015-0.025OHM · cm

Parâmetros mecânicos

Diâmetro

150,0 ± 0,2 mm

Grossura

350 ± 25 µm

Orientação plana primária

[1-100]±5°

Comprimento plano primário

47,5 ± 1,5 mm

Apartamento secundário

Nenhum

TTV

≤5 µm

≤10 µm

≤15 µm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Arco

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Urdidura

≤35 µm

≤45 µm

≤55 µm

A rugosidade frontal (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2 nm (5μm*5μm)

Estrutura

Densidade de micropipe

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Impurezas de metal

≤5E10atoms/cm2

N / D

Bpd

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

N / D

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

N / D

Qualidade frontal

Frente

Si

Acabamento superficial

Si-face cmp

Partículas

≤60ea/wafer (size≥0,3μm)

N / D

Arranhões

≤5ea/mm. Comprimento cumulativo ≤DIAMETER

Comprimento cumulativo ≤2*diâmetro

N / D

Casca de laranja/poços/manchas/estrias/rachaduras/contaminação

Nenhum

N / D

Chips/recuos/fraturas/placas de fratura/placas hexadecimais

Nenhum

Áreas de poliateiro

Nenhum

Área cumulativa ≤20%

Área cumulativa ≤30%

Marcada a laser dianteira

Nenhum

Qualidade de volta

Final traseiro

CMP C-FACE

Arranhões

≤5ea/mm, comprimento cumulativo≤2*diâmetro

N / D

Defeitos traseiros (chips/recuos de borda)

Nenhum

Rugosidade de volta

Ra≤0,2 nm (5μm*5μm)

Marcação de laser traseiro

1 mm (da borda superior)

Borda

Borda

Chanfro

Embalagem

Embalagem

Epi pronto com embalagem a vácuo

Embalagem de cassetes de várias linhas

*Notas : “NA” significa que nenhum item de solicitação não mencionado pode se referir ao Semi-STD.

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