O susceptor de grafite de 8 polegadas da Semicera com revestimento de SiC é fabricado usando um processo CVD para aplicações de semicondutores de alta temperatura. O produto apresenta condutividade térmica estável, forte resistência à oxidação e excelente resistência à corrosão química. A camada densa e uniforme de SiC protege eficazmente a base de grafite contra a erosão do gás do processo, prolongando significativamente a vida útil sob condições operacionais adversas.
É amplamente utilizado em MOCVD, CVD e outros sistemas de epitaxia e deposição de alta temperatura, garantindo suporte estável de wafer e distribuição uniforme de calor. Projetado para ambientes de produção em massa na fabricação de semicondutores e LED, ele oferece desempenho consistente e alta confiabilidade de processo.
O revestimento CVD-SiC apresenta uma microestrutura uniforme, morfologia densa e excelente estabilidade em altas temperaturas. Oferece excelente resistência à oxidação, alta pureza e forte resistência a ácidos, álcalis e solventes orgânicos, garantindo desempenho físico e químico estável sob condições severas de processo.
Em comparação, a grafite de alta pureza começa a oxidar em torno 400ºC , levando à perda de material por pulverização. Isto não só causa a contaminação dos equipamentos circundantes e das câmaras de vácuo, mas também aumenta os níveis de impurezas em ambientes de processamento de alta pureza.
Em contraste, os revestimentos de SiC permanecem quimicamente e fisicamente estáveis até aproximadamente 1600°C , melhorando significativamente a durabilidade e a limpeza do processo. Como resultado, os componentes revestidos com CVD-SiC são amplamente adotados em aplicações industriais modernas de alta temperatura, particularmente na fabricação de semicondutores.
1. Grafite revestida com SiC de alta pureza, a pureza pode atingir o 99.99995%
2. Resistência superior ao calor e uniformidade térmica
3. Cristal SiC fino revestido para uma superfície lisa
4. Alta durabilidade contra limpeza química
| SiC-CVD | ||
| Densidade | (g/cc) | 3.21 |
| Resistência à flexão | (Mpa) | 470 |
| Expansão térmica | (10-6/K) | 4 |
| Condutividade térmica | (W/mK) | 300 |
Capacidade de fornecimento:
10.000 peças/peças por mês
Embalagem e entrega:
Embalagem: Embalagem Padrão e Forte
Saco poli + caixa + caixa + palete
Porta:
Ningbo/Shenzhen/Xangai
Tempo de espera:
| Quantidade (Peças) | 1 – 1000 | >1000 |
| Husa. Tempo (dias) | 30 | A ser negociado |
