Ventosa cerâmica de alumina semicondutora é um mandril a vácuo de alta precisão feito de cerâmica de alumina de alta pureza (Al₂O₃). Ele fornece retenção estável de wafer por meio de adsorção a vácuo, oferecendo excelente isolamento elétrico, alta resistência mecânica e resistência superior a altas temperaturas, desgaste e corrosão. É amplamente utilizado em equipamentos de processamento de semicondutores para manuseio preciso, limpo e confiável de wafers.
As cerâmicas de alumina (Al₂O₃) são cerâmicas de engenharia avançadas conhecidas por sua excelente dureza, resistência ao desgaste e propriedades de leveza. Com uma dureza Rockwell de HRA 80–90, eles oferecem uma dureza que perde apenas para o diamante e excede em muito a dos aços resistentes ao desgaste e dos aços inoxidáveis. A resistência ao desgaste do Semcioera é excepcionalmente alta - até 266 vezes maior que a do aço manganês e 171.5 vezes a do ferro fundido com alto teor de cromo – prolongando significativamente a vida útil do equipamento sob condições de trabalho idênticas. Além disso, com uma baixa densidade de cerca de 3,5g/cm³ (cerca de metade da do aço), a cerâmica de alumina da Semicera ajuda a reduzir o peso e a carga geral do equipamento, tornando-os ideais para aplicações estruturais de alto desempenho e resistentes ao desgaste.
Ventosa cerâmica de alumina semicondutora apresenta excelente desempenho para manuseio de wafer em processos de semicondutores de alta tecnologia:
Alta limpeza
Baixa geração de partículas, adequado para ambientes de salas limpas Classe 1/Classe 10.
Alta dureza e resistência ao desgaste
Evita arranhões no wafer e garante longa vida útil.
Resistência a altas temperaturas
Aplicável em processos de alta temperatura, como CVD, PVD e ataque químico.
Excelente estabilidade química
Resistente a ácidos e álcalis e não introduz contaminação no processo.
Boa estabilidade dimensional
A baixa expansão térmica garante alta precisão de alinhamento e precisão do processo.
Indústria de aplicativos: Máquinas, eletrônica, química, petróleo e outros campos industriais.
Aplicações específicas: Substratos cerâmicos elétricos, êmbolos, anéis de vedação, componentes resistentes ao desgaste, peças isolantes e componentes estruturais resistentes à corrosão.
