Anti-oxidação de alta pureza SIC MOCVD bandeja

Semicera Energy Technology Co., Ltd. is a leading supplier specializing in wafer and advanced semiconductor consumables.We are dedicated to providing high-quality, reliable, and innovative products to semiconductor manufacturing,photovoltaic industryand other related fields.Our product line includes SiC/TaC coated graphite products and ceramic products, encompassing various materials such as silicon carbide, silicon nitride, and aluminum oxide and etc.As a trusted supplier, we understand the importance of consumables in the manufacturing process, and we are committed to delivering products that meet the highest quality standards to fulfill our customers’ needs.

Descrição

Our company provides SiC coating process services by CVD method on the surface of graphite, ceramics and other materials, so that special gases containing carbon and silicon react at high temperature to obtain high purity SiC molecules, molecules deposited on the surface of the coated materials, forming a SiC protective layer.

 

Principais características

1. Resistência a oxidação de alta temperatura:
A resistência da oxidação ainda é muito boa quando a temperatura é tão alta quanto 1600 C.
2. Alta pureza: feita por deposição de vapor químico sob condição de cloração de alta temperatura.
3. Resistência à erosão: alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
4. Resistência à corrosão: ácido, álcalis, sal e reagentes orgânicos.

Principais especificações do revestimento CVD-SIC

Propriedades SIC-CVD
Estrutura cristalina FCC β phase
Densidade g/cm ³ 3.21
Dureza Vickers dureza 2500
Tamanho de grão μm 2~10
Pureza química % 99.99995
Capacidade de calor J·kg-1 ·K-1 640
Temperatura da sublimação 2700
Força felexural MPa  (RT 4-point) 415
Young’ s Modulus Gpa (4pt bend, 1300℃) 430
Expansão térmica (CTE) 10-6K-1 4.5
Condutividade térmica (W/mk) 300

MOCVD EPITAXIAL PARTS

MOCVD disk

 Equipment

about

Local de trabalho semicera

Local de trabalho semicera 2

Máquina de equipamentos

Processamento da CNN, limpeza química, revestimento de CVD

Ware House Semicera

Nosso serviço

Newletter

Ansioso pelo seu contato conosco