Anel siC de CVD a granel

Os anéis SiC CVD a granel usam gás-fonte de silício (como hidreto de silício) e gás-fonte de carbono (como metano) como matérias-primas, reagindo a alta temperatura para depositar materiais SiC de tamanho grande em um substrato ou molde. Esse processo permite que o SIC seja depositado uniformemente em uma grande área, formando uma estrutura de anéis forte e consistente.

Por que o anel de gravação de carboneto de silício é?

Rtp CVD SiC anéis são amplamente utilizados em campos industriais e científicos em altas temperaturas e ambientes corrosivos. Ele desempenha um papel importante na fabricação de semicondutores, optoeletrônica, máquinas de precisão e indústria química. Aplicações específicas incluem:

1. Fabricação de semicondutores: RTP CVD SIC RINGS Pode ser usado para aquecimento e resfriamento de equipamentos semicondutores, fornecendo controle estável de temperatura e garantindo a precisão e a consistência do processo.

2. Optoeletrônica: devido à sua excelente condutividade térmica e resistência a alta temperatura, RTP CVD SiC anéis Pode ser usado como materiais de suporte e dissipação de calor para lasers, equipamentos de comunicação de fibra óptica e componentes ópticos.

3. Máquinas de precisão: RTP CVD SiC pode ser usado para instrumentos e equipamentos de precisão em ambientes de alta temperatura e corrosivos, como fornos de alta temperatura, dispositivos de vácuo e reatores químicos.

4. Indústria química: devido à sua resistência à corrosão e estabilidade química, os anéis RTP CVD SiC podem ser usados em recipientes, tubos e reatores em reações químicas e processos catalíticos.

Sistema epi

Sistema RTP

Sistema CVD

Desempenho do produto:

1. Conheça o processo abaixo de 28nm

2. Resistência à super corrosão

3. Desempenho super limpo

4. Super dureza

5. Alta densidade

6. Resistência a alta temperatura

7. Resistência ao desgaste

Aplicação do produto:

Os materiais de carboneto de silício têm as características de alta dureza, resistência ao desgaste, resistência à corrosão e estabilidade de alta temperatura. Os produtos com excelente desempenho abrangente são amplamente utilizados nos processos de gravação a seco e TF/difusão.