No processo de fabricação de IC semicondutores, muitas vezes é necessário usar uma ferramenta para transferência, limpeza e processamento de chips, a ferramenta que carrega o chip é geralmente chamada de barco wafer, que será fornecido com vários slots de wafer, cada slot de wafer é usado para colocar um wafer. No processo de fabricação de wafers semicondutores, o processo de difusão do tubo do forno é um dos processos básicos. No processo de difusão, vários wafers são primeiro colocados em um barco de cristal de quartzo e, em seguida, o barco de cristal de quartzo é colocado no tubo do forno para fabricação em lote.
