Epitaxia Ga2O3

Ga2O3Epitaxy – Aprimore seus dispositivos eletrônicos e optoeletrônicos de alta potência com o Ga2O3Epitaxy da Semicera, oferecendo desempenho e confiabilidade incomparáveis ​​para aplicações avançadas de semicondutores.

Semícera orgulhosamente oferece 2O3 Epitaxia , uma solução de última geração projetada para ampliar os limites da eletrônica de potência e da optoeletrônica. Esta tecnologia epitaxial avançada aproveita as propriedades únicas do Óxido de Gálio (Ga2O3) para oferecer desempenho superior em aplicações exigentes.

Principais recursos:

     • Amplo Bandgap Excepcional : 2O3 Epitaxia apresenta um bandgap ultra-amplo, permitindo tensões de ruptura mais altas e operação eficiente em ambientes de alta potência.

     • Alta condutividade térmica : A camada epitaxial proporciona excelente condutividade térmica, garantindo operação estável mesmo sob condições de alta temperatura, tornando-a ideal para dispositivos de alta frequência.

     • Qualidade de material superior : Obtenha cristal de alta qualidade com defeitos mínimos, garantindo desempenho e longevidade ideais do dispositivo, especialmente em aplicações críticas, como transistores de potência e detectores UV.

     • Versatilidade em Aplicações : Perfeitamente adequado para eletrônica de potência, aplicações de RF e optoeletrônica, fornecendo uma base confiável para dispositivos semicondutores de próxima geração.

 

Descubra o potencial de 2O3 Epitaxia com as soluções inovadoras da Semicera. Nossos produtos epitaxiais são projetados para atender aos mais altos padrões de qualidade e desempenho, permitindo que seus dispositivos operem com máxima eficiência e confiabilidade. Escolha Semicera para tecnologia de semicondutores de ponta.

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Fictício

Parâmetros de Cristal

Politipo

4H

Erro de orientação de superfície

<11-20 >4±0.15°

Parâmetros Elétricos

Dopante

Nitrogênio tipo n

Resistividade

0,015-0,025ohm·cm

Parâmetros Mecânicos

Diâmetro

150,0±0,2 mm

Grossura

350±25 µm

Orientação plana primária

[1-100]±5°

Comprimento plano primário

47,5±1,5mm

Apartamento secundário

Nenhum

TTV

≤5 µm

≤10 µm

≤15 µm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

Arco

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Urdidura

≤35 µm

≤45 µm

≤55 µm

Rugosidade frontal (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Estrutura

Densidade de microtubos

&lt;1 ea/cm2

&lt;10 ea/cm2

&lt;15 ea/cm2

Impurezas metálicas

≤5E10atoms/cm2

N / D

DBP

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

N / D

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

N / D

Qualidade frontal

Frente

Si

Acabamento de superfície

CMP de face Si

Partículas

≤60ea/wafer (tamanho≥0,3μm)

N / D

Arranhões

≤5ea/mm. Comprimento cumulativo ≤Diâmetro

Comprimento cumulativo≤2*Diâmetro

N / D

Casca de laranja/caroços/manchas/estrias/rachaduras/contaminação

Nenhum

N / D

Lascas/reentrâncias/fraturas/placas sextavadas nas bordas

Nenhum

Áreas politípicas

Nenhum

Área acumulada≤20%

Área acumulada≤30%

Marcação a laser frontal

Nenhum

Qualidade traseira

Acabamento traseiro

CMP face C

Arranhões

≤5ea/mm, comprimento cumulativo≤2*Diâmetro

N / D

Defeitos traseiros (lascas/recortes nas bordas)

Nenhum

Rugosidade nas costas

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Marcação a laser traseira

1 mm (da borda superior)

Borda

Borda

Chanfro

Embalagem

Embalagem

Epi-pronto com embalagem a vácuo

Embalagem cassete multi-wafer

*Notas: “NA” significa sem solicitação. Itens não mencionados podem referir-se ao SEMI-STD.

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