Substratos de nitreto de gálio | Wafers GaN

O nitreto de gálio (GaN), como os materiais de carboneto de silício (SiC), pertence à terceira geração de materiais semicondutores com ampla largura de banda, com grande largura de banda, alta condutividade térmica, alta taxa de migração de saturação de elétrons e campo elétrico de alta decomposição características excelentes. Os dispositivos GaN têm uma ampla gama de perspectivas de aplicação em campos de alta frequência, alta velocidade e alta demanda de energia, como iluminação LED de economia de energia, tela de projeção a laser, novos veículos de energia, rede inteligente, comunicação 5G.

Bolachas GaN

Os materiais semicondutores de terceira geração incluem principalmente SiC, GaN, diamante, etc., porque sua largura de banda larga (por exemplo) é maior ou igual a 2,3 elétron-volts (eV), também conhecidos como materiais semicondutores de banda larga. Em comparação com os materiais semicondutores de primeira e segunda geração, os materiais semicondutores de terceira geração têm as vantagens de alta condutividade térmica, alto campo elétrico de decomposição, alta taxa de migração de elétrons saturada e alta energia de ligação, que podem atender aos novos requisitos da tecnologia eletrônica moderna para alta temperatura, alta potência, alta pressão, alta frequência e resistência à radiação e outras condições adversas. Tem importantes perspectivas de aplicação nas áreas de defesa nacional, aviação, aeroespacial, exploração de petróleo, armazenamento óptico, etc., e pode reduzir a perda de energia em mais de 50% em muitas indústrias estratégicas, como comunicações de banda larga, energia solar, fabricação de automóveis, iluminação de semicondutores e redes inteligentes, e pode reduzir o volume de equipamentos em mais de 75%, o que é de grande importância para o desenvolvimento da ciência e tecnologia humanas.

 

Item

GaN-FS-C-U-C50

GaN-FS-C-N-C50

GaN-FS-C-SI-C50

Diâmetro
Diâmetro da bolacha

50,8±1 mm

Grossura grossura

350 ± 25 µm

Orientação
Orientação do cristal

Plano C (0001) fora do ângulo em direção ao eixo M 0,35 ± 0,15°

Apartamento Prime
borda de posicionamento principal

(1-100) 0 ± 0,5°, 16 ± 1mm

Plano Secundário
borda de posicionamento secundária

(11-20) 0 ± 3°, 8 ± 1mm

Condutividade
condutividade

Tipo N

Tipo N

Semi-Isolante

Resistividade (300K)
Resistividade

< 0,1Ω·cm

< 0,05Ω·cm

> 106Ω·cm

TTV
Planicidade

≤ 15 µm

ARCO
curvatura

≤ 20 µm

Rugosidade da superfície da face Ga
Gá Rugosidade superficial

< 0,2 nm (polido);

ou < 0,3 nm (polimento e tratamento de superfície para epitaxia)

Rugosidade da superfície da face N
Rugosidade superficial

0,5 ~1,5 µm

opção: 1~3 nm (terra fina); <0,2 nm (polido)

Densidade de Luxação
Densidade de deslocamento

De 1 x 105 a 3 x 106 cm-2 (calculado por CL)*

Densidade de macrodefeitos
Densidade de defeitos

< 2 cm-2

Área Útil
Área efetiva

> 90% (exclusão de defeitos de borda e macro)

Pode ser personalizado de acordo com as necessidades do cliente, estrutura diferente de silício, safira, folha epitaxial GaN baseada em SiC.

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