A Semicera Semiconductor é um fornecedor líder especializado em wafer e consumíveis avançados de semicondutores. Estamos empenhados em fornecer produtos de alta qualidade, confiáveis e inovadores para fabricação de semicondutores, indústria fotovoltaica e outros campos relacionados. Nossa linha de produtos inclui produtos de grafite revestidos com SiC / TaC e produtos cerâmicos, abrangendo vários materiais, como carboneto de silício, nitreto de silício e óxido de alumínio e etc.
Tubos de forno de carboneto de silício (SiC): solução avançada para as indústrias fotovoltaica e de semicondutores
Os tubos de forno de carboneto de silício (SiC) são componentes críticos nas indústrias fotovoltaica e de semicondutores. Os tubos tradicionais de forno de quartzo são eficazes até 800°C, mas quando usados em processos de difusão por oxidação que excedem 1000°C, sua vida útil diminui drasticamente. Isso resulta em tensão, deformação e contaminação dos wafers devido à lixiviação de impurezas do tubo de quartzo.
Em contraste, os tubos de forno de SiC proporcionam desempenho e longevidade superiores, com inúmeros benefícios:
-Estabilidade excepcional em altas temperaturas : Os tubos de forno de SiC podem suportar temperaturas de até 1.700°C no ar e até 1.950°C em gases inertes como nitrogênio ou argônio, superando em muito os tubos de quartzo em aplicações de alta temperatura.
-Desempenho superior de expansão térmica : O SiC possui um coeficiente de expansão térmica que se aproxima do silício amorfo, reduzindo significativamente o risco de rachaduras ou quebras devido à expansão térmica, comum nos tubos de quartzo.
-Materiais de alta pureza : Semicera oferece tubos de SiC com 99.99% pureza, juntamente com Revestimentos CVD SiC com 99.99998% pureza. Isso garante a proteção do wafer contra impurezas, eliminando problemas de contaminação durante processos de alta temperatura.
-Excelente resistência à corrosão e ao desgaste : Os tubos de SiC apresentam excelente resistência à corrosão e ao desgaste sob altas temperaturas, evitando potencial contaminação e degradação frequentemente associada aos tubos de quartzo.
-Excelente resistência ao choque térmico : Com alta condutividade térmica e notável resistência ao choque térmico, os tubos de forno de SiC podem lidar com rápidas mudanças de temperatura, tornando-os altamente duráveis em processos industriais dinâmicos.
Os tubos de forno SiC da Semicera são amplamente utilizados como substitutos de tubos de quartzo em fornos de oxidação vertical, fornos de difusão e equipamentos RTP. Nossos produtos têm operado com sucesso em instalações de vários clientes desde 2018, demonstrando seu desempenho e confiabilidade excepcionais.
Além disso, a Semicera fornece produtos de SiC de alta pureza, incluindo Barcos de SiC , Tubos de SiC , Pás de SiC , e Revestimentos CVD SiC para atender às diversas necessidades de processos de alta temperatura.
– Vida útil mais longa e melhor desempenho em condições extremas em comparação com tubos de forno de quartzo.
– Contaminação reduzida por impurezas devido aos materiais de alta pureza.
– Alta estabilidade térmica , mesmo sob temperaturas flutuantes.
– Desempenho confiável e comprovado em indústrias como fabricação de semicondutores e produção fotovoltaica.
Escolha os tubos de forno SiC da Semicera para maior durabilidade, manutenção reduzida e resultados superiores em suas aplicações de alta temperatura.
