Semicera é um fornecedor profissional de componentes avançados de cerâmica e grafite revestido para equipamentos semicondutores. Nosso Peças de grafite revestidas com SiC para equipamentos epitaxiais de SiC são projetados para uso na câmara de reação de sistemas de epitaxia de SiC, proporcionando desempenho estável em ambientes de processo corrosivos e de alta temperatura.
Essas peças são feitas de grafite de alta pureza com revestimento de carboneto de silício (SiC), que melhora a dureza superficial, a resistência à oxidação e o controle de partículas, garantindo longa vida útil e condições de processo estáveis.
Semicera é um fornecedor profissional de componentes avançados de grafite revestido para equipamentos semicondutores. Nosso Peça meia lua de grafite revestida com SiC é um componente estrutural chave usado em equipamentos epitaxiais de SiC e outras câmaras de processo de semicondutores de alta temperatura.
Usando tecnologia de revestimento avançada, o produto é fabricado com grafite de alta pureza como material de base e um revestimento uniforme de carboneto de silício (SiC) na superfície. Isto garante excelente estabilidade, longa vida útil e desempenho confiável em ambientes de processo severos.
O design em meia-lua é usado principalmente dentro da câmara de reação para apoiar a estabilidade do processo e ajudar a manter condições térmicas e de fluxo de gás uniformes. Não entra em contato direto com o wafer.
