Os elementos de aquecimento da Semicera para substrato MOCVD são projetados para fornecer controle de temperatura preciso e estável em processos de deposição de vapor químico metal-orgânico (MOCVD). Feitos de grafite de alta qualidade, esses elementos de aquecimento oferecem condutividade térmica excepcional, aquecimento uniforme e confiabilidade a longo prazo. Ideais para fabricação de semicondutores, produção de LED e aplicações de materiais avançados, os elementos de aquecimento da Semicera garantem desempenho consistente, otimizando seu processo de substrato MOCVD para máxima eficiência e qualidade.
Principais características do aquecedor de grafite:
1. uniformidade da estrutura de aquecimento.
2. Boa condutividade elétrica e alta carga elétrica.
3. resistência à corrosão.
4. inoxidabilidade.
5. alta pureza química.
6. alta resistência mecânica.
A vantagem é eficiência energética, alto valor e baixa manutenção. Podemos produzir cadinho de grafite antioxidação e longa vida útil, molde de grafite e todas as peças do aquecedor de grafite.
|
Especificação Técnica |
Semicera-M3 |
|
Densidade aparente (g/cm3) |
≥1.85 |
|
Conteúdo de cinzas (PPM) |
≤500 |
|
Dureza Shore |
≥45 |
|
Resistência Específica (μ.Ω.m) |
≤12 |
|
Resistência à Flexão (Mpa) |
≥40 |
|
Resistência à Compressão (Mpa) |
≥70 |
|
Máx. Tamanho do grão (μm) |
≤43 |
|
Coeficiente de Expansão Térmica Mm/°C |
≤4.4*10-6 |
