Semícera é um fornecedor especializado em consumíveis de semicondutores avançados e relacionados a wafer. Estamos comprometidos em fornecer produtos inovadores, confiáveis e de alta qualidade para a fabricação de semicondutores, a indústria fotovoltaica e outros campos de alta tecnologia relacionados.
Nosso portfólio de produtos inclui Revestido com SiC/TaC componentes de grafite e cerâmicas técnicas avançadas, cobrindo materiais como carboneto de silício (SiC), nitreto de silício (Si₃N₄) e óxido de alumínio (Al₂O₃) , entre outros.
Como fornecedor confiável do setor, a Semicera entende o papel crítico dos consumíveis nos processos de produção de semicondutores. A Semicera se dedica a fornecer produtos que atendam a rigorosos padrões de qualidade e apoiem o desempenho, a estabilidade e a eficiência exigidos em ambientes de fabricação avançados.
Nossa empresa fornece Revestimento CVD SiC serviços na superfície de grafite, cerâmica e outros materiais de substrato avançados. Durante o processo, gases precursores contendo silício e carbono reagem em altas temperaturas para gerar carboneto de silício (SiC) de alta pureza, que é depositado na superfície do substrato para formar uma camada protetora de SiC densa, uniforme e fortemente ligada.
Este revestimento melhora significativamente as propriedades da superfície do material base, melhorando seu desempenho em ambientes de processo de alta temperatura, corrosivos e de alta pureza.
1. Resistência à oxidação em alta temperatura
Desempenho estável sob condições de alta temperatura até 1600°C em atmosferas inertes ou controladas, evitando eficazmente a oxidação do substrato.
2. Alta pureza
Produzido por deposição química de vapor (CVD) sob condições de cloração em alta temperatura, garantindo pureza ultra-alta e adequação para aplicações de grau de semicondutores.
3. Erosão e resistência ao desgaste
Alta dureza e microestrutura densa proporcionam excelente resistência à erosão de partículas, desgaste mecânico e ataque de gases de processo.
4. Resistência à corrosão química
Excelente resistência a ácidos, álcalis, sais e uma ampla gama de reagentes químicos orgânicos, garantindo estabilidade a longo prazo em ambientes agressivos.
5. Estrutura de revestimento densa e uniforme
Superfície sem furos com forte adesão ao substrato, minimizando a geração de partículas e o risco de contaminação.
6. Longa vida útil
Prolonga efetivamente a vida útil dos componentes de grafite e cerâmica em processos industriais de alta temperatura.
| Propriedades SiC-CVD | ||
| Estrutura Cristalina | Fase β do FCC | |
| Densidade | g/cm³ | 3.21 |
| Dureza | Dureza Vickers | 2500 |
| Tamanho do grão | milímetros | 2~10 |
| Pureza Química | % | 99.99995 |
| Capacidade de calor | J·kg-1·K-1 | 640 |
| Temperatura de Sublimação | ℃ | 2700 |
| Força Felexural | MPa (TR 4 pontos) | 415 |
| Módulo de Young | Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C) | 430 |
| Expansão Térmica (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Condutividade térmica | (W/mK) | 300 |
