O barril revestido de carboneto de tântalo poroso de alta pureza da Semicera é projetado especificamente para fornos de crescimento de cristal de carboneto de silício (SiC). Apresentando um revestimento de carboneto de tântalo de alta pureza e uma estrutura porosa, este cilindro oferece excepcional estabilidade térmica e resistência à corrosão química. A avançada tecnologia de revestimento da Semicera garante desempenho e eficiência duradouros nos processos de crescimento de cristais de SiC, tornando-a a escolha ideal para aplicações exigentes de semicondutores.
O barril revestido de carboneto de tântalo poroso é o carboneto de tântalo como principal material de revestimento, o carboneto de tântalo tem excelente resistência à corrosão, resistência ao desgaste e estabilidade a altas temperaturas. Ele pode proteger eficazmente o material base da erosão química e da atmosfera de alta temperatura. O material de base geralmente possui características de resistência a altas temperaturas e resistência à corrosão. Pode fornecer boa resistência mecânica e estabilidade química e, ao mesmo tempo, servir como base de suporte do revestimento de carboneto de tântalo.
A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores. O processo de revestimento líder da Semicera permite que os revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, alta estabilidade de temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (susceptor de TaC revestido com grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia do CVD TaC com o esforço conjunto do departamento de P&D. É fácil ocorrer defeitos no processo de crescimento dos wafers de SiC, mas após o uso do TaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.
Além disso, os produtos revestidos com TaC da Semicera apresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação com Revestimentos de SiC. Medições de laboratório demonstraram que nossos revestimentos TaC podem funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
