O susceptor de portador de wafer de grafite revestido com CVD SiC de alta pureza da Semicera foi projetado para processos de alta temperatura de semicondutores, como MOCVD, CVD e crescimento epitaxial. É fabricado utilizando grafite de alta pureza como material de base, com um denso revestimento de carboneto de silício (SiC) depositado por deposição química de vapor (CVD).
O revestimento SiC oferece excelente proteção contra oxidação, corrosão química e contaminação por partículas, melhorando significativamente a vida útil e a estabilidade do processo em ambientes térmicos adversos.
Este produto garante suporte estável de wafer, transferência de calor uniforme e integridade estrutural em alta temperatura, tornando-o adequado para processos avançados de fabricação de semicondutores e LED.
A cerâmica de carboneto de silício (SiC) exibe excelentes propriedades mecânicas à temperatura ambiente, incluindo alta resistência, alta dureza e alto módulo de elasticidade. Eles também oferecem excelente desempenho em altas temperaturas, como alta condutividade térmica, baixo coeficiente de expansão térmica e excelente rigidez específica, além de boa usinabilidade para aplicações ópticas e estruturais de precisão.
Devido a esta combinação única de propriedades, as cerâmicas de SiC são particularmente adequadas para componentes de precisão utilizados em equipamentos de fabricação de circuitos integrados, incluindo sistemas de litografia. As aplicações típicas incluem suportes/susceptores de SiC, barcos wafer, mandris a vácuo, placas de resfriamento de água, espelhos ópticos de precisão, grades e outras peças estruturais de cerâmica de alta precisão usadas em equipamentos de processamento de semicondutores.
A Semicera pode fornecer aos clientes transportadores de wafer personalizados de materiais de silício e carboneto de silício para atender a diferentes aplicações.
| Propriedade | Valor |
| Densidade | 3,21 g/cc |
| Calor específico | 0,66 J/g °K |
| Resistência à flexão | 450MPa560MPa |
| Resistência à fratura | 2,94MPa m1/2 |
| Dureza | 2800 |
| Módulo de elasticidadeMódulo de Young | 450 GPa430 GPa |
| Tamanho do grão | 2 – 10 µm |
Semicondutor Semicera é fornecedora de componentes cerâmicos semicondutores avançados, fornecendo materiais de alto desempenho e peças de precisão para aplicações semicondutoras e fotovoltaicas. A empresa possui capacidade em cerâmicas de carboneto de silício de alta pureza, incluindo carboneto de silício recristalizado (R-SiC), bem como revestimentos de carboneto de silício CVD (SiC).
Além disso, a Semicera também trabalha com uma linha de cerâmicas técnicas avançadas, como alumina (Al₂O₃), nitreto de alumínio (AlN), zircônia (ZrO₂) e nitreto de silício (Si₃N₄), para atender a diversos requisitos de aplicação.
Nossos principais produtos incluem discos de gravação de carboneto de silício, transportadores de barcos de carboneto de silício, barcos wafer de carboneto de silício (para processos fotovoltaicos e semicondutores), tubos de forno de carboneto de silício, pás cantilever de carboneto de silício, mandris de carboneto de silício, vigas de carboneto de silício, bem como revestimentos CVD SiC e revestimentos TaC.
Esses produtos são amplamente utilizados na fabricação de semicondutores e fotovoltaicos, incluindo crescimento de cristais, deposição epitaxial, gravação, embalagem, processos de revestimento e sistemas de forno de difusão.
