O revestimento TaC é uma nova geração de material resistente a altas temperaturas, com melhor estabilidade em altas temperaturas do que o SiC, como um revestimento resistente à corrosão, revestimento resistente à oxidação, revestimento resistente ao desgaste, pode ser usado em ambientes acima de 2.000 ℃, amplamente utilizado na indústria aeroespacial peças de extremidade quente de ultra-alta temperatura, a terceira geração de crescimento de cristal único semicondutor e outros campos.
A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores. O processo de revestimento líder da Semicera Semicera permite que revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, alta estabilidade de temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas de EPI (susceptor de TaC revestido com grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia do CVD TaC com o esforço conjunto do departamento de P&D. É fácil ocorrer defeitos no processo de crescimento dos wafers de SiC, mas após o uso do TaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças da Semicera para crescimento de cristal único
Além disso, a vida útil dos produtos de revestimento TaC da Semicera é mais longa e mais resistente a altas temperaturas do que a do revestimento SiC. Após um longo período de dados de medição em laboratório, nosso TaC pode funcionar por um longo período a no máximo 2.300 graus Celsius. A seguir estão algumas de nossas amostras:
