Bandeja de gravação em carboneto de silício LED resistente a altas temperaturas e corrosão (bandeja de gravação ICP)

é um fornecedor líder especializado em wafer e consumíveis avançados de semicondutores. Estamos empenhados em fornecer produtos de alta qualidade, confiáveis ​​e inovadores para fabricação de semicondutores, indústria fotovoltaica e outros campos relacionados. estamos comprometidos em fornecer produtos que atendam aos mais altos padrões de qualidade para atender às necessidades de nossos clientes.

Descrição do produto

Nossa empresa fornece serviços de processo de revestimento de SiC pelo método CVD na superfície de grafite, cerâmica e outros materiais, para que gases especiais contendo carbono e silício reajam em alta temperatura para obter moléculas de SiC de alta pureza, moléculas depositadas na superfície dos materiais revestidos, formando camada protetora SIC.

Principais características:

1. Resistência à oxidação em alta temperatura:

a resistência à oxidação ainda é muito boa quando a temperatura chega a 1600 C.

2. Alta pureza: feita por deposição química de vapor sob condições de cloração de alta temperatura.

3. Resistência à erosão: alta dureza, superfície compacta, partículas finas.

4. Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sal e reagentes orgânicos.

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Principais especificações do revestimento CVD-SIC

Propriedades SiC-CVD

Estrutura Cristalina

Fase β do FCC

Densidade

g/cm³

3.21

Dureza

Dureza Vickers

2500

Tamanho do grão

milímetros

2~10

Pureza Química

%

99.99995

Capacidade de calor

J·kg-1·K-1

640

Temperatura de Sublimação

2700

Força Felexural

MPa (TR 4 pontos)

415

Módulo de Young

Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)

430

Expansão Térmica (CTE)

10-6K-1

4.5

Condutividade térmica

(W/mK)

300

 

Local de trabalho semicera

Local de trabalho de Semicera 2

Máquina de equipamento

Processamento CNN, limpeza química, revestimento CVD

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