Os aquecedores de substrato e elementos de aquecimento MOCVD da Semicera são projetados para atender aos exigentes requisitos dos processos de epitaxia de semicondutores. Projetados para uso em sistemas MOCVD, esses componentes proporcionam distribuição uniforme de calor, controle preciso de temperatura e excelente estabilidade térmica, ajudando a manter condições de crescimento consistentes em toda a superfície do wafer.
Fabricadas com materiais de alta qualidade e otimizadas para operação em altas temperaturas, as soluções de aquecimento da Semicera oferecem desempenho confiável, longa vida útil e gerenciamento térmico eficiente. Eles são amplamente utilizados na produção de dispositivos semicondutores, eletrônica de potência e wafers epitaxiais de LED, proporcionando maior consistência do processo e eficiência geral de fabricação.
Aquecedor de substrato MOCVD, elementos de aquecimento para MOCVD
Aquecedor de grafite:
Os componentes do aquecedor de grafite são usados no forno de alta temperatura com temperatura atingida de 2.200 graus em ambiente de vácuo e 3.000 graus em ambiente de gás desoxidado e inserido.
1. Uniformidade da estrutura de aquecimento.
2. Boa condutividade elétrica e alta carga elétrica.
3. Resistência à corrosão.
4. Inoxidabilidade.
5. Alta pureza química.
6. Alta resistência mecânica.
A vantagem é eficiência energética, alto valor e baixa manutenção.
Podemos produzir cadinho de grafite antioxidação e de longa vida útil, molde de grafite e todas as peças do aquecedor de grafite.
Vantagem: Resistência a altas temperaturas
Aplicação: MOCVD/forno a vácuo/zona quente
Densidade aparente: 1.68-1.91g/cm3
Resistência à flexão: 30-46MPa
Resistividade: 7-12μΩm
| Especificação Técnica | VET-M3 |
| Densidade aparente (g/cm3) | 1.68-1.91 |
| Conteúdo de cinzas (PPM) | ≤500 |
| Dureza Shore | ≥45 |
| Resistência Específica (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Resistência à Flexão (Mpa) | ≥40 |
| Resistência à Compressão (Mpa) | ≥70 |
| Máx. Tamanho do grão (μm) | ≤43 |
| Coeficiente de Expansão Térmica Mm/°C | ≤4.4*10-6 |
Os aquecedores de grafite para fornos elétricos da Semicera são fabricados com materiais de grafite de alta pureza, oferecendo excelente resistência a altas temperaturas, estabilidade térmica, condutividade elétrica e resistência mecânica. Projetados para ambientes de processamento térmico exigentes, esses aquecedores fornecem geração de calor eficiente e uniforme, mantendo um desempenho confiável sob operação prolongada em alta temperatura. A Semicera pode fabricar uma ampla gama de configurações de aquecedores de grafite de acordo com desenhos e especificações do cliente, oferecendo suporte a soluções personalizadas para aplicações de semicondutores, fotovoltaicos, fornos a vácuo e tratamento térmico.
Semicera é um fornecedor de cerâmica semicondutora avançada e o único fabricante na China que pode fornecer simultaneamente cerâmica de carboneto de silício de alta pureza (especialmente SiC recristalizado) e revestimento de SiC CVD. Além disso, nossa empresa também está comprometida com campos cerâmicos como alumina, nitreto de alumínio, zircônia e nitreto de silício, etc.
Nossos principais produtos incluem: disco de gravação de carboneto de silício, reboque de barco de carboneto de silício, barco wafer de carboneto de silício (fotovoltaico e semicondutor), tubo de forno de carboneto de silício, remo cantilever de carboneto de silício, mandris de carboneto de silício, feixe de carboneto de silício, bem como revestimento CVD SiC e revestimento TaC. Os produtos são utilizados principalmente nas indústrias de semicondutores e fotovoltaicas, como equipamentos para crescimento de cristais, epitaxia, gravação, embalagem, revestimento e fornos de difusão, etc.
Nossa empresa possui equipamentos de produção completos, como moldagem, sinterização, processamento, equipamentos de revestimento, etc., que podem completar todos os elos necessários de produção do produto e ter maior controlabilidade da qualidade do produto; O plano de produção ideal pode ser selecionado de acordo com a necessidade do produto, resultando em menor custo e proporcionando aos clientes produtos mais competitivos; Podemos programar a produção de forma flexível e eficiente com base nos requisitos de entrega dos pedidos e em conjunto com sistemas de gerenciamento de pedidos on-line, proporcionando aos clientes prazos de entrega mais rápidos e garantidos.
