O barco isostático de grafite PECVD é amplamente utilizado em vários elos de fabricação de semicondutores, como deposição de filme de polissilício, deposição de filme de óxido, deposição de filme de nitreto, etc. Seu excelente desempenho o torna um transportador de wafer ideal no processo PECVD.
O barco de grafite isostático PECVD SEMICERA é um produto de grafite de alta pureza e alta densidade projetado para suporte de wafer no processo PECVD (deposição química de vapor aprimorada por plasma). SEMICERA utiliza tecnologia avançada de prensagem isostática para garantir que o barco de grafite tenha excelente resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão, estabilidade dimensional e boa condutividade térmica, que é um consumível indispensável no processo de fabricação de semicondutores.
▪ Alta pureza: O material de grafite é de alta pureza e baixo teor de impurezas para evitar a contaminação da superfície do wafer.
▪ Alta densidade: Alta densidade, alta resistência mecânica, pode suportar ambientes de alta temperatura e alto vácuo.
▪ Boa estabilidade dimensional: Pequena alteração dimensional em alta temperatura para garantir a estabilidade do processo.
▪ Excelente condutividade térmica: Transfere calor com eficácia para evitar o superaquecimento do wafer.
▪ Forte resistência à corrosão: Capaz de resistir à erosão por vários gases corrosivos e plasma.
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Parâmetro de desempenho |
semicera | SGL R6510 | Parâmetro de desempenho |
| Densidade aparente (g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
| Resistência à flexão (MPa) | 63 | 60 | 49 |
| Resistência à compressão (MPa) | 135 | 130 | 103 |
| Dureza Shore (HS) | 70 | 64 | 60 |
| Coeficiente de expansão térmica （10-6/K） | 85 | 105 | 130 |
| Coeficiente de expansão térmica （10-6/K） | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
| Resistividade (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
Vantagens de nos escolher:
▪ Seleção de materiais: Materiais de grafite de alta pureza são usados para garantir a qualidade do produto.
▪ Tecnologia de processamento: A prensagem isostática é usada para garantir a densidade e uniformidade do produto.
▪ Personalização de tamanho: Barcos de grafite de diferentes tamanhos e formatos podem ser customizados de acordo com a necessidade do cliente.
▪ Tratamento de superfície: Uma variedade de métodos de tratamento de superfície são fornecidos, como revestimento de carboneto de silício, nitreto de boro, etc., para atender a diferentes requisitos de processo.
