Long-life SiC Coated Graphite Heater for MOCVD K465i, Graphite Heater for epitaxy

The graphite heater components are used in the high temperature furnace with temperature reached 2200 degrees at vacuum environment and 3000 degrees in the deoxidized and inserted gas environment.

Descrição

The graphite heater components are used in the high temperature furnace with temperature reached 2200 degrees at vacuum environment and 3000 degrees in the deoxidized and inserted gas environment.

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Principais características

1. Uniformidade da estrutura de aquecimento.
2. Boa condutividade elétrica e alta carga elétrica.
3. Resistência à corrosão.
4. Inoxidizabilidade.
5. Alta pureza química.
6. Alta resistência mecânica.
The advantage is energy efficient, high value and low maintenance.
We can produce anti-oxidation and long life span graphite crucible, graphite mold and all parts of graphite heater.

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Principais parâmetros do aquecedor de grafite

Especificação técnica

VET-M3

Densidade em massa (g/cm3)

≥1.85

Conteúdo de cinzas (ppm)

≤500

Dureza da costa

≥45

Resistência específica (μ.ω.m)

≤12

Força de flexão (MPA)

≥40

Força de compressão (MPA)

≥70

Máx. Tamanho de grão (μm)

≤43

Coeficiente de expansão térmica mm/° C

≤4.4*10-6

Graphite heater for electric furnace has properties of heat resistance, oxidation resistance, good electrical conductivity and better mechanical intensity. We can machine various types of graphite heater according to customers’ designs.

Local de trabalho semicera

Local de trabalho semicera 2

Máquina de equipamentos

Processamento da CNN, limpeza química, revestimento de CVD

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