Os anéis RTP CVD SiC são compostos principalmente de carboneto de silício (sic), cuja composição química e estrutura cristalina oferecem excelente desempenho. O carboneto de silício é um material de cerâmica com alto ponto de fusão, alta dureza e excelente resistência à corrosão. Ele exibe boa condutividade térmica e estabilidade química em altas temperaturas e possui excelente resistência mecânica e resistência ao desgaste.
RTP CVD SiC rings are widely used in industrial and scientific fields in high temperature and corrosive environments. It plays an important role in semiconductor manufacturing, optoelectronics, precision machinery and chemical industry. Specific applications include:
1. Semiconductor manufacturing: RTP CVD SiC rings can be used for heating and cooling of semiconductor equipment, providing stable temperature control and ensuring the accuracy and consistency of the process.
2. Optoelectronics: Due to its excellent thermal conductivity and high temperature resistance, RTP CVD SiC rings can be used as support and heat dissipation materials for lasers, fiber optic communication equipment and optical components.
3. Máquinas de precisão: RTP CVD SiC pode ser usado para instrumentos e equipamentos de precisão em ambientes de alta temperatura e corrosivos, como fornos de alta temperatura, dispositivos de vácuo e reatores químicos.
4. Indústria química: devido à sua resistência à corrosão e estabilidade química, os anéis RTP CVD SiC podem ser usados em recipientes, tubos e reatores em reações químicas e processos catalíticos.
Desempenho do produto:
1. Conheça o processo abaixo de 28nm
2. Resistência à super corrosão
3. Desempenho super limpo
4. Super dureza
5. Alta densidade
6. Resistência a alta temperatura
7. Resistência ao desgaste
Aplicação do produto:
Os materiais de carboneto de silício têm as características de alta dureza, resistência ao desgaste, resistência à corrosão e estabilidade de alta temperatura. Os produtos com excelente desempenho abrangente são amplamente utilizados nos processos de gravação a seco e TF/difusão.
Desempenho do produto:
1. Conheça o processo abaixo de 28nm
2. Resistência à super corrosão
3. Desempenho super limpo
4. Super dureza
5. Alta densidade
6. Resistência a alta temperatura
7. Resistência ao desgaste
Desenvolvimento de processos compostos:
• Graphite +SiC Coating
• Solide CVD SiC
• Sintered SiC+CVD
• SicSintered SiC
Desenvolvimento de tipo de produto múltiplo:
• Ring
• Table
• Susceptor
• Shower Head
