Os anéis RTP CVD SiC são compostos principalmente de carboneto de silício (SiC), cuja composição química e estrutura cristalina proporcionam excelente desempenho. O carboneto de silício é um material cerâmico com alto ponto de fusão, alta dureza e excelente resistência à corrosão. Apresenta boa condutividade térmica e estabilidade química em altas temperaturas e possui excelente resistência mecânica e resistência ao desgaste.
Os anéis RTP CVD SiC são amplamente utilizados em campos industriais e científicos em ambientes corrosivos e de alta temperatura. Desempenha um papel importante na fabricação de semicondutores, optoeletrônica, máquinas de precisão e indústria química. Aplicações específicas incluem:
1. Fabricação de semicondutores: Os anéis RTP CVD SiC podem ser usados para aquecimento e resfriamento de equipamentos semicondutores, fornecendo controle de temperatura estável e garantindo a precisão e consistência do processo.
2. Optoeletrônica: Devido à sua excelente condutividade térmica e resistência a altas temperaturas, os anéis RTP CVD SiC podem ser usados como materiais de suporte e dissipação de calor para lasers, equipamentos de comunicação de fibra óptica e componentes ópticos.
3. Máquinas de precisão: Os anéis RTP CVD SiC podem ser usados para instrumentos e equipamentos de precisão em ambientes corrosivos e de alta temperatura, como fornos de alta temperatura, dispositivos de vácuo e reatores químicos.
4. Indústria química: Devido à sua resistência à corrosão e estabilidade química, os anéis RTP CVD SiC podem ser usados em recipientes, tubos e reatores em reações químicas e processos catalíticos.
Desempenho do produto:
1. Conheça o processo abaixo de 28 nm
2. Super resistência à corrosão
3. Desempenho super limpo
4. Superdureza
5. Alta densidade
6. Resistência a altas temperaturas
7. Resistência ao desgaste
Aplicação do produto:
Os materiais de carboneto de silício têm características de alta dureza, resistência ao desgaste, resistência à corrosão e estabilidade a altas temperaturas. Produtos com excelente desempenho abrangente são amplamente utilizados em processos de gravação a seco e TF/Difusão.
Desempenho do produto:
1. Conheça o processo abaixo de 28 nm
2. Super resistência à corrosão
3. Desempenho super limpo
4. Superdureza
5. Alta densidade
6. Resistência a altas temperaturas
7. Resistência ao desgaste
Desenvolvimento de processos compostos:
• Revestimento de Grafite +SiC
• Sólido CVD SiC
• SiC+CVD sinterizado
• SicSiC Sinterizado
Desenvolvimento de vários tipos de produtos:
• Anel
• Mesa
• Susceptor
• Chuveiro
