Peças de grafite revestidas com sic para equipamento epitaxial do sic.Product Introdução e uso: tubo de quartzo conectado, pode passar gás para acionar a rotação da base da bandeja, a localização da temperatura contolcionada do produto: na câmara de reação, não em contato direto com os produtos de wafermain a jusante: Mercado de dispositivos de energia:
SiC Coated Graphite Halfmoon Part is a key component used in semiconductor manufacturing processes, especially for SiC epitaxial equipment. We use our patented technology to make the halfmoon part with extremely high purity, good coating uniformity and an excellent service life, as well as high chemical resistance and thermal stability properties.
