Cassete semicondutor

Cassete semicondutores-Proteja e transporta suas bolachas com precisão usando o cassete semicondutor da Semicera, projetado para garantir a segurança e a eficiência ideais em ambientes de fabricação de alta tecnologia.

Semicera apresenta o Cassete semicondutor, uma ferramenta essencial para o manuseio seguro e eficiente das bolachas durante todo o processo de fabricação de semicondutores. Projetado com alta precisão, este cassete garante que suas bolachas sejam armazenadas e transportadas com segurança, mantendo sua integridade em todas as etapas.

Proteção e durabilidade superiores O Cassete semicondutor A partir de semicera, é construído para oferecer proteção máxima às suas bolachas. Construído a partir de materiais robustos e resistentes à contaminação, protege suas bolachas de possíveis danos e contaminação, tornando-o a escolha ideal para ambientes de sala limpa. O design do cassete minimiza a geração de partículas e garante que as bolachas permaneçam intocadas e seguras durante o manuseio e o transporte.

Design aprimorado para desempenho ideal Semicera Cassete semicondutor Apresenta um design meticulosamente projetado que fornece alinhamento preciso da wafer, reduzindo o risco de desalinhamento e dano mecânico. Os slots do cassete são perfeitamente espaçados para segurar cada wafer com segurança, impedindo qualquer movimento que possa resultar em arranhões ou outras imperfeições.

Versatilidade e compatibilidade O Cassete semicondutor é versátil e compatível com vários tamanhos de bolacha, tornando -a adequada para diferentes estágios de fabricação de semicondutores. Esteja você trabalhando com dimensões padrão ou personalizadas de wafer, esta cassete se adapta às suas necessidades, oferecendo flexibilidade em seus processos de fabricação.

Manuseio e eficiência simplificados Projetado com o usuário em mente, o Semicera semicondutor Cassette é leve e fácil de manusear, permitindo carregamento e descarregamento rápido e eficiente. Esse design ergonômico não apenas economiza tempo, mas também reduz o risco de erro humano, garantindo operações suaves em sua instalação.

Atendendo aos padrões da indústria Semicera garante que o Cassete semicondutor Atende aos mais altos padrões do setor de qualidade e confiabilidade. Cada cassete sofre testes rigorosos para garantir que ele tenha um desempenho consistente nas condições exigentes da fabricação de semicondutores. Essa dedicação à qualidade garante que suas bolachas estejam sempre protegidas, mantendo os altos padrões necessários no setor.

Unid

Produção

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Fictício

Parâmetros de cristal

Polytype

4H

Erro de orientação da superfície

4±0.15°

Parâmetros elétricos

Dopante

nitrogênio do tipo n

Resistividade

0,015-0.025OHM · cm

Parâmetros mecânicos

Diâmetro

150,0 ± 0,2 mm

Grossura

350 ± 25 µm

Orientação plana primária

[1-100]±5°

Comprimento plano primário

47,5 ± 1,5 mm

Apartamento secundário

Nenhum

TTV

≤5 µm

≤10 µm

≤15 µm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Arco

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Urdidura

≤35 µm

≤45 µm

≤55 µm

A rugosidade frontal (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2 nm (5μm*5μm)

Estrutura

Densidade de micropipe

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Impurezas de metal

≤5E10atoms/cm2

N / D

Bpd

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

N / D

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

N / D

Qualidade frontal

Frente

Si

Acabamento superficial

Si-face cmp

Partículas

≤60ea/wafer (size≥0,3μm)

N / D

Arranhões

≤5ea/mm. Comprimento cumulativo ≤DIAMETER

Comprimento cumulativo ≤2*diâmetro

N / D

Casca de laranja/poços/manchas/estrias/rachaduras/contaminação

Nenhum

N / D

Chips/recuos/fraturas/placas de fratura/placas hexadecimais

Nenhum

Áreas de poliateiro

Nenhum

Área cumulativa ≤20%

Área cumulativa ≤30%

Marcada a laser dianteira

Nenhum

Qualidade de volta

Final traseiro

CMP C-FACE

Arranhões

≤5ea/mm, comprimento cumulativo≤2*diâmetro

N / D

Defeitos traseiros (chips/recuos de borda)

Nenhum

Rugosidade de volta

Ra≤0,2 nm (5μm*5μm)

Marcação de laser traseiro

1 mm (da borda superior)

Borda

Borda

Chanfro

Embalagem

Embalagem

Epi pronto com embalagem a vácuo

Embalagem de cassetes de várias linhas

*Notas : “NA” significa que nenhum item de solicitação não mencionado pode se referir ao Semi-STD.

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