Peças de grafite revestidas com SiC para equipamentos epitaxiais de SiC.Introdução e uso do produto: tubo de quartzo conectado, pode passar gás para acionar a rotação da base da bandeja, controle de temperaturaLocalização do dispositivo do produto: na câmara de reação, não em contato direto com o waferPrincipais produtos a jusante: dispositivos de energiaPrincipal mercado de terminais: novos veículos de energia
A peça Halfmoon de grafite revestida com SiC é um componente chave usado em processos de fabricação de semicondutores, especialmente para equipamentos epitaxiais de SiC. Utilizamos nossa tecnologia patenteada para fabricar a peça em meia-lua com altíssima pureza, boa uniformidade de revestimento e excelente vida útil, além de alta resistência química e propriedades de estabilidade térmica.
