A zircônia (ZrO₂) é um material cerâmico avançado conhecido por sua excepcional resistência mecânica, alta tenacidade à fratura e excelente resistência ao desgaste. As cerâmicas de zircônia da Semicera são fabricadas com 3% em mol zircônia estabilizada com ítria (3Y-TZP), que oferece uma estrutura de granulação fina, permitindo usinagem de alta precisão e excelente exatidão dimensional. Em comparação com a cerâmica convencional, a zircônia apresenta tenacidade, resistência ao impacto e durabilidade superiores, tornando-a um material ideal para componentes de manuseio de wafers semicondutores, peças mecânicas de precisão, ferramentas industriais e sistemas de automação. Sua baixa geração de partículas e excelente estabilidade também o tornam adequado para ambientes de fabricação de semicondutores altamente limpos.
Um garfo de wafer de cerâmica de zircônia semicondutor é um componente de manuseio de wafer de alta precisão usado em automação de semicondutores e sistemas de transferência de wafer. Fabricado em cerâmica de zircônia (ZrO₂) de alto desempenho, ele foi projetado para transportar, posicionar e suportar wafers durante processos de fabricação de semicondutores. Graças à sua alta resistência, excelente resistência ao desgaste e baixa geração de partículas, os garfos de cerâmica de zircônia são amplamente utilizados em robôs de manuseio de wafers, braços de transferência, portas de carga e equipamentos de processamento a vácuo.
As principais características das peças cerâmicas de zircônia :
1. Excelente resistência ao desgaste, 276 vezes maior que o aço inoxidável
2. Densidade mais alta do que a maioria das cerâmicas técnicas, acima 6g/cm3
3. Alta dureza, acima de 1300 MPa para Vickers
4. Pode suportar temperaturas mais altas até 2400°
5. Baixa condutividade térmica, menos de 3 W/mk à temperatura ambiente
6. Coeficiente de expansão térmica semelhante ao do aço inoxidável
7. A excepcional tenacidade à fratura atinge até 8 MPa · m1/2
8. Inércia química, resistência ao envelhecimento e não enferruja para sempre
9. Resistência a metais fundidos devido a um ponto de fusão extraordinário .
Indústria de Semicondutores
Robôs para manuseio de wafers
Sistemas de transferência de wafer
Equipamento portuário de carga
Equipamentos de automação FOUP
Equipamento de processamento de vácuo
Linhas de fabricação de semicondutores
Indústria de exibição
Sistemas de transferência de vidro LCD
Equipamento de produção OLED
Automação de Precisão
Efetores finais robóticos
Sistemas de posicionamento de precisão
