Com sua precisão superior e alta pureza, o substrato de Si da Semicera garante desempenho confiável e consistente em aplicações críticas, incluindo a fabricação de Epi-Wafer e Óxido de Gálio (Ga2O3). Projetado para apoiar a produção de microeletrônica avançada, esse substrato oferece compatibilidade e estabilidade excepcionais, tornando-o um material essencial para tecnologias de ponta nos setores de telecomunicações, automotivo e industrial.
O Substrato de Si da Semicera é um componente essencial na produção de dispositivos semicondutores de alto desempenho. Projetado a partir de silício (Si) de alta pureza, esse substrato oferece excepcional uniformidade, estabilidade e excelente condutividade, tornando-o ideal para uma ampla gama de aplicações avançadas na indústria de semicondutores. Seja usado na produção de Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer ou SiN Substrate, o Substrato Semicera Si oferece qualidade consistente e desempenho superior para atender às crescentes demandas da eletrônica moderna e da ciência dos materiais.
Desempenho incomparável com alta pureza e precisão
O Substrato de Si da Semicera é fabricado utilizando processos avançados que garantem alta pureza e rígido controle dimensional. O substrato serve como base para a produção de uma variedade de materiais de alto desempenho, incluindo Epi-Wafers e AlN Wafers. A precisão e uniformidade do substrato de Si tornam-no uma excelente escolha para a criação de camadas epitaxiais de película fina e outros componentes críticos usados na produção de semicondutores de próxima geração. Esteja você trabalhando com óxido de gálio (Ga2O3) ou outros materiais avançados, o substrato de Si da Semicera garante os mais altos níveis de confiabilidade e desempenho.
Aplicações na fabricação de semicondutores
Na indústria de semicondutores, o substrato de Si da Semicera é utilizado em uma ampla gama de aplicações, incluindo a produção de Wafer de Si e substrato de SiC, onde fornece uma base estável e confiável para a deposição de camadas ativas. O substrato desempenha um papel crítico na fabricação de Wafers SOI (Silicon On Insulator), que são essenciais para microeletrônica avançada e circuitos integrados. Além disso, Epi-Wafers (wafers epitaxiais) construídos em substratos de Si são essenciais na produção de dispositivos semicondutores de alto desempenho, como transistores de potência, diodos e circuitos integrados.
O substrato de Si também suporta a fabricação de dispositivos usando óxido de gálio (Ga2O3), um material promissor de banda larga usado para aplicações de alta potência em eletrônica de potência. Além disso, a compatibilidade do substrato de Si da Semicera com Wafers de AlN e outros substratos avançados garante que ele possa atender aos diversos requisitos das indústrias de alta tecnologia, tornando-o uma solução ideal para a produção de dispositivos de ponta nos setores de telecomunicações, automotivo e industrial.
Qualidade confiável e consistente para aplicações de alta tecnologia
O Substrato de Si da Semicera é cuidadosamente projetado para atender às rigorosas demandas de fabricação de semicondutores. Sua excepcional integridade estrutural e propriedades de superfície de alta qualidade tornam-no o material ideal para uso em sistemas de cassetes para transporte de wafers, bem como para a criação de camadas de alta precisão em dispositivos semicondutores. A capacidade do substrato de manter uma qualidade consistente sob diversas condições de processo garante defeitos mínimos, melhorando o rendimento e o desempenho do produto final.
Com sua condutividade térmica superior, resistência mecânica e alta pureza, o substrato de Si da Semicera é o material preferido dos fabricantes que buscam atingir os mais altos padrões de precisão, confiabilidade e desempenho na produção de semicondutores.
Escolha o substrato de Si da Semicera para soluções de alta pureza e alto desempenho
Para fabricantes da indústria de semicondutores, o Si Substrate da Semicera oferece uma solução robusta e de alta qualidade para uma ampla gama de aplicações, desde a produção de Si Wafer até a criação de Epi-Wafers e SOI Wafers. Com pureza, precisão e confiabilidade incomparáveis, esse substrato permite a produção de dispositivos semicondutores de última geração, garantindo desempenho de longo prazo e eficiência ideal. Escolha Semicera para suas necessidades de substrato de Si e confie em um produto projetado para atender às demandas das tecnologias de amanhã.
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Unid |
Produção |
Pesquisar |
Fictício |
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Parâmetros de Cristal |
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Politipo |
4H |
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Erro de orientação de superfície |
<11-20 >4±0.15° |
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Parâmetros Elétricos |
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Dopante |
Nitrogênio tipo n |
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Resistividade |
0,015-0,025ohm·cm |
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Parâmetros Mecânicos |
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Diâmetro |
150,0±0,2 mm |
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Grossura |
350±25 µm |
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Orientação plana primária |
[1-100]±5° |
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Comprimento plano primário |
47,5±1,5mm |
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Apartamento secundário |
Nenhum |
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TTV |
≤5 µm |
≤10 µm |
≤15 µm |
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LTV |
≤3 μm(5mm*5mm) |
≤5 μm(5mm*5mm) |
≤10 μm(5mm*5mm) |
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Arco |
-15μm ~ 15μm |
-35μm ~ 35μm |
-45μm ~ 45μm |
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Urdidura |
≤35 µm |
≤45 µm |
≤55 µm |
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Rugosidade frontal (Si-face) (AFM) |
Ra≤0,2nm (5μm*5μm) |
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Estrutura |
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Densidade de microtubos |
<1 ea/cm2 |
<10 ea/cm2 |
<15 ea/cm2 |
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Impurezas metálicas |
≤5E10atoms/cm2 |
N / D |
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DBP |
≤1500 ea/cm2 |
≤3000 ea/cm2 |
N / D |
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TSD |
≤500 ea/cm2 |
≤1000 ea/cm2 |
N / D |
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Qualidade frontal |
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Frente |
Si |
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Acabamento de superfície |
CMP de face Si |
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Partículas |
≤60ea/wafer (tamanho≥0,3μm) |
N / D |
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Arranhões |
≤5ea/mm. Comprimento cumulativo ≤Diâmetro |
Comprimento cumulativo≤2*Diâmetro |
N / D |
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Casca de laranja/caroços/manchas/estrias/rachaduras/contaminação |
Nenhum |
N / D |
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Lascas/reentrâncias/fraturas/placas sextavadas nas bordas |
Nenhum |
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Áreas politípicas |
Nenhum |
Área acumulada≤20% |
Área acumulada≤30% |
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Marcação a laser frontal |
Nenhum |
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Qualidade traseira |
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Acabamento traseiro |
CMP face C |
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Arranhões |
≤5ea/mm, comprimento cumulativo≤2*Diâmetro |
N / D |
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Defeitos traseiros (lascas/recortes nas bordas) |
Nenhum |
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Rugosidade nas costas |
Ra≤0,2nm (5μm*5μm) |
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Marcação a laser traseira |
1 mm (da borda superior) |
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Borda |
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Borda |
Chanfro |
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Embalagem |
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Embalagem |
Epi-pronto com embalagem a vácuo Embalagem cassete multi-wafer |
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*Notas: “NA” significa sem solicitação. Itens não mencionados podem referir-se ao SEMI-STD. |
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