Pá de carboneto de silício, também conhecida como pá cantilever de carboneto de silício, feixe cantilever de carboneto de silício é um tipo de produtos cerâmicos de carboneto de silício após sinterização de alta temperatura de 1850 ℃, mas a cerâmica de carboneto de silício de sinterização de alta temperatura é um produto cerâmico especial, por partículas finasα-SiC e aditivos pressionados em um branco, em contato com silício líquido em alta temperatura, carbono no branco e infiltração da reação de Si, a formação deβ-SiC, e combinado com α-SiC, silício livre preencheu a porosidade, de modo a obter materiais cerâmicos de alta densidade; Possui várias propriedades superiores da cerâmica industrial.
Pá cantilever de carboneto de silício é um componente crítico de suporte de carga usado em equipamentos de processo semicondutores de alta temperatura, como fornos de difusão, fornos de oxidação e sistemas LPCVD. Ele foi projetado para transportar e transferir barcos wafer durante o processamento térmico.
Feito de carboneto de silício (SiC) de alta pureza, oferece excelente estabilidade em altas temperaturas, resistência à fluência e resistência à corrosão química. Mesmo sob condições extremas (1.000 a 1.600 °C), ele mantém alta rigidez e estabilidade dimensional, garantindo qualidade e rendimento consistentes no processamento de wafers.
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Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado |
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Propriedade |
Valor típico |
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Temperatura de trabalho (°C) |
1600°C (com oxigênio), 1700°C (redução do ambiente) |
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Conteúdo SiC |
> 99.96% |
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Conteúdo Si grátis |
< 0.1% |
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Densidade aparente |
2,60-2,70g/cm 3 |
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Porosidade aparente |
< 16% |
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Força de compressão |
> 600MPa |
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Resistência à flexão a frio |
80-90MPa (20°C) |
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Resistência à flexão a quente |
90-100MPa (1400°C) |
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Expansão térmica @1500°C |
4.70 10 -6 /°C |
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Condutividade térmica @1200°C |
23 W/m·K |
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Módulo elástico |
240 GPa |
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Resistência ao choque térmico |
Extremamente bom |
O comprimento da nossa pá Cantilever SiC varia de 1.500 a 3.500 mm. A dimensão do remo SiC Cantilever pode ser adaptada de acordo com a especificação do cliente.
