Pá de carboneto de silício, também conhecida como pá cantilever de carboneto de silício, feixe cantilever de carboneto de silício é um tipo de produtos cerâmicos de carboneto de silício após sinterização de alta temperatura de 1850 ℃, mas a cerâmica de carboneto de silício de sinterização de alta temperatura é um produto cerâmico especial, por partículas finas α-SiC e aditivos pressionados em um branco, em contato com silício líquido em alta temperatura, carbono no branco e infiltração da reação de Si, a formação de β-SiC, e combinado com α-SiC, silício livre preencheu a porosidade, de modo a obter materiais cerâmicos de alta densidade; Possui várias propriedades superiores da cerâmica industrial.
As pás de SiC da Semicera são projetadas para expansão térmica mínima, proporcionando estabilidade e precisão em processos onde a precisão dimensional é crítica. Isso os torna ideais para aplicações onde os wafers são submetidos a repetidos ciclos de aquecimento e resfriamento, já que o wafer boat mantém sua integridade estrutural, garantindo um desempenho consistente.
A incorporação das pás de difusão de carboneto de silício da Semicera em sua linha de produção aumentará a confiabilidade do seu processo, graças às suas propriedades térmicas e químicas superiores. Essas pás são perfeitas para processos de difusão, oxidação e recozimento, garantindo que os wafers sejam manuseados com cuidado e precisão em cada etapa.
A inovação está no centro do design do remo SiC da Semicera. Essas pás são adaptadas para se adaptarem perfeitamente aos equipamentos semicondutores existentes, proporcionando maior eficiência de manuseio. A estrutura leve e o design ergonômico não apenas melhoram o transporte dos wafers, mas também reduzem o tempo de inatividade operacional, resultando em uma produção simplificada.
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Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado |
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Propriedade |
Valor típico |
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Temperatura de trabalho (°C) |
1600°C (com oxigênio), 1700°C (redução do ambiente) |
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Conteúdo SiC |
> 99.96% |
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Conteúdo Si grátis |
< 0.1% |
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Densidade aparente |
2,60-2,70g/cm 3 |
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Porosidade aparente |
< 16% |
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Força de compressão |
> 600MPa |
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Resistência à flexão a frio |
80-90MPa (20°C) |
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Resistência à flexão a quente |
90-100MPa (1400°C) |
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Expansão térmica @1500°C |
4.70 10 -6 /°C |
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Condutividade térmica @1200°C |
23 W/m·K |
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Módulo elástico |
240 GPa |
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Resistência ao choque térmico |
Extremamente bom |
