Componentes de grafite revestidos com SiC para aplicações em epitaxia

A Semicera fornece um portfólio completo de susceptores de alto desempenho e componentes de grafite para uma ampla variedade de plataformas de reatores epitaxiais.

Aproveitando a forte colaboração com os principais fabricantes de equipamentos, profundo conhecimento em materiais avançados e tecnologias de fabricação de última geração, desenvolvemos soluções personalizadas adaptadas às demandas exclusivas de cada aplicação. Nosso foco em qualidade, precisão e confiabilidade nos permite oferecer suporte aos clientes com componentes otimizados que melhoram o desempenho do processo epitaxial e a eficiência operacional.

Descrição

Nossa empresa é especializada no fornecimento de serviços de revestimento CVD SiC para grafite, cerâmica e outros materiais de substrato. Através do processo de Deposição Química de Vapor (CVD), gases precursores contendo silício e carbono reagem a temperaturas elevadas para gerar carboneto de silício (SiC) de alta pureza. O SiC resultante é depositado uniformemente na superfície do substrato, formando um revestimento de SiC denso e altamente protetor que aumenta a resistência à corrosão, ao desgaste e ao desempenho em altas temperaturas.

         

Principais recursos

1. Grafite revestida com SiC de alta pureza, a pureza pode atingir o 99.99995%

2. Resistência superior ao calor e uniformidade térmica

3. Cristal SiC fino revestido para uma superfície lisa

4. Alta durabilidade contra limpeza química

Principais especificações do revestimento CVD-SIC

Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina Fase β do FCC
Densidade g/cm³ 3.21
Dureza Dureza Vickers 2500
Tamanho do grão milímetros 2~10
Pureza Química % 99.99995
Capacidade de calor J·kg-1·K-1 640
Temperatura de Sublimação 2700
Força Felexural MPa (TR 4 pontos) 415
Módulo de Young Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C) 430
Expansão Térmica (CTE) 10-6K-1 4.5
Condutividade térmica (W/mK) 300

Local de trabalho semicera

Local de trabalho de Semicera 2
Máquina de equipamento
Processamento CNN, limpeza química, revestimento CVD
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