SiC coated graphite heater for MOCVD K465i, epitaxial graphite heater for semiconductor equipment

Semicera Semiconductor is a leading supplier specializing in wafer and advanced semiconductor consumables. We are dedicated to providing high-quality, reliable, and innovative products to semiconductor manufacturing, photovoltaic industry and other related fields.Our product line includes SiC/TaC coated graphite products and ceramic products, encompassing various materials such as silicon carbide, silicon nitride, and aluminum oxide and etc.As a trusted supplier, we understand the importance of consumables in the manufacturing process, and we are committed to delivering products that meet the highest quality standards to fulfill our customers’ needs.

Principais características do aquecedor de grafite:

1. Uniformidade da estrutura de aquecimento.

2. Boa condutividade elétrica e alta carga elétrica.

3. Resistência à corrosão.

4. Inoxidizabilidade.

5. Alta pureza química.

6. Alta resistência mecânica.

A vantagem é eficiente em termos de energia, alto valor e baixa manutenção. Podemos produzir antioxidação e cadinho de grafite de longa duração, molde de grafite e todas as partes do aquecedor de grafite.

Aquecedor de grafite (1) (1)

Principais parâmetros do aquecedor de grafite

Especificação técnica

VET-M3

Densidade em massa (g/cm3)

≥1.85

Conteúdo de cinzas (ppm)

≤500

Dureza da costa

≥45

Resistência específica (μ.ω.m)

≤12

Força de flexão (MPA)

≥40

Força de compressão (MPA)

≥70

Máx. Tamanho de grão (μm)

≤43

Coeficiente de expansão térmica mm/° C

≤4.4*10-6

Local de trabalho semicera

Local de trabalho semicera 2

Máquina de equipamentos

Processamento da CNN, limpeza química, revestimento de CVD

Ware House Semicera

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