O revestimento tem alta pureza, resistência a altas temperaturas e resistência química para proteger eficazmente as superfícies de grafite contra desgaste, corrosão e oxidação. O revestimento de carboneto de tântalo é uma tecnologia de revestimento de superfície de alto desempenho que fornece aprimoramento de desempenho superior, formando uma camada protetora resistente ao desgaste e à corrosão na superfície do material.
Semicera A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores. O processo de revestimento líder da Semicera Semicera permite que revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, alta estabilidade de temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas de EPI (susceptor de TaC revestido com grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema de borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e Semicera Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia do CVD TaC com o esforço conjunto do departamento de P&D. É fácil ocorrer defeitos no processo de crescimento dos wafers de SiC, mas após o uso do TaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.
Além disso, os produtos revestidos com TaC da Semicera apresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação com Revestimentos de SiC. Medições de laboratório demonstraram que nossos revestimentos TaC podem funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
