silicon carbide Ceramic effector for the transfer of wafers in various semiconductor processes

The silicon carbide mechanical arm is formed by isostatic pressing process and sintered at high temperature. According to the requirements of the user’s design drawings, the outline size, thickness size and shape can be refined to meet the specific requirements of users.

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Características e vantagens

1.Precise Dimensões e estabilidade térmica

2. Alta rigidez específica e excelente uniformidade térmica, o uso a longo prazo não é fácil de dobrar deformação;

3. Tem uma superfície lisa e boa resistência ao desgaste, manuseando com segurança o chip sem contaminação por partículas.

4.Silicon carbide resistivity in 106-108Ω, non-magnetic, in line with anti-ESD specification requirements; It can prevent the accumulation of static electricity on the surface of the chip

5. Boa condutividade térmica, baixo coeficiente de expansão.

 

 

 

 

 

 

Robot ARM EFEITOR

 

 

 

 

 

SiC End Eficetor

 

 

 

 

 

 

Comparação de materiais de cerâmica sic

 

 

 

 

 

 

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