Barril de reator epitaxial revestido com carboneto de silício

Semicera is a high-tech enterprise engaged in material research for many years, with a leading R&D team and integrated R&D and manufacturing. Provide customized  Silicon Carbide Coated Epitaxial Reactor Barrelto discuss with our technical experts how to get the best performance and market advantage for your products.

Por que é o revestimento de carboneto de silício?

In the semiconductor field, the stability of each component is very important for the whole process. However, in a high-temperature environment, graphite is easily oxidized and lost, and SiC coating can provide stable protection for graphite parts. In the Semicera team, we have our own graphite purification processing equipment, which can control the purity of graphite below 5ppm. The purity of the silicon carbide coating is below 0.5 ppm.

 

Nossa vantagem, por que escolher semicera?

✓Top-quality in China market

 

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Equipamento de produção de quartzo 4

Aplicativo

Susceptador de crescimento de epitaxia

As bolachas de carboneto de silício/silício precisam passar por vários processos para serem usados ​​em dispositivos eletrônicos. Um processo importante é a epitaxia de silício/siC, na qual as bolachas de silício/SiC são transportadas em uma base de grafite. As vantagens especiais da base de grafite revestida de carboneto de Silicone da Semicera incluem pureza extremamente alta, revestimento uniforme e vida útil extremamente longa. Eles também têm alta resistência química e estabilidade térmica.

 

Si Si Epitaxy Barrel Susceptor

Susceptador de epitaxia de silício

Si epitaxia Susceptor

Susceptador de epitaxia de carboneto de silício

Produção de chips LED

Durante o revestimento extenso do reator MOCVD, a base planetária ou transportadora move a bolacha do substrato. O desempenho do material base tem uma grande influência na qualidade do revestimento, o que, por sua vez, afeta a taxa de sucata do chip. A base revestida de carboneto de silício da Semicera aumenta a eficiência de fabricação de bolachas LED de alta qualidade e minimiza o desvio do comprimento de onda. Também fornecemos componentes de grafite adicionais para todos os reatores MOCVD atualmente em uso. Podemos revestir quase qualquer componente com um revestimento de carboneto de silício, mesmo que o diâmetro do componente tenha até 1,5 m, ainda podemos revestir com carboneto de silício.

Susceptador de epitaxia LED

Susceptador de epitaxia LED

Campo semicondutor, processo de difusão de oxidação, Etc.

No processo de semicondutores, o processo de expansão da oxidação requer alta pureza do produto e, na Semicera, oferecemos serviços de revestimento personalizados e CVD para a maioria das peças de carboneto de silício.

A figura a seguir mostra a pasta de carboneto de silício processado em semicea e o tubo do forno de carboneto de silício que é limpo no 1000-nível livre de poeira sala. Nossos trabalhadores estão trabalhando antes do revestimento. A pureza do nosso carboneto de silício pode atingir 99.99%, e a pureza do revestimento SiC é maior que 99.99995%.

 

Produto semi -acabado de carboneto de silício antes do revestimento -2

Raw Silicon Carbide Paddle e SiC Process Tube em Cleaing

Tubo sic

Barco de wafer de carboneto de silício CVD SIC revestido

Dados do desempenho do CVD SIC semi-Cera.

Dados de revestimento SiC semi-Cera CVD

Pureza do sic

Local de trabalho semicera

Local de trabalho semicera 2

Ware House Semicera

Máquina de equipamentos

Processamento da CNN, limpeza química, revestimento de CVD

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