A Semicera oferece uma gama abrangente de susceptores e componentes de grafite projetados para vários reatores de epitaxia. Através de parcerias estratégicas com OEMs líderes do setor, experiência extensa de materiais e recursos avançados de fabricação, a Semicera fornece projetos personalizados para atender aos requisitos específicos da sua aplicação. Nosso compromisso com a excelência garante que você receba soluções ideais para as necessidades do reator de epitaxia.
Our company provides SiC coating process services by CVD method on the surface of graphite, ceramics and other materials, so that special gases containing carbon and silicon react at high temperature to obtain high purity SiC molecules, molecules deposited on the surface of the coated materials, forming SIC protective layer.
1. High Purity sic revestido de grafite
2. Resistência ao calor superior e uniformidade térmica
3. Fine SiC crystal coated for a smooth surface
4. Alta durabilidade contra a limpeza química
| Propriedades SIC-CVD | ||
| Estrutura cristalina | Fase β da FCC | |
| Densidade | g/cm ³ | 3.21 |
| Dureza | Vickers dureza | 2500 |
| Tamanho de grão | mm | 2~10 |
| Pureza química | % | 99.99995 |
| Capacidade de calor | J · kg-1 · k-1 | 640 |
| Temperatura da sublimação | ℃ | 2700 |
| Força felexural | MPA (RT 4 pontos) | 415 |
| Módulo de Young | GPA (4pt Bend, 1300 ℃) | 430 |
| Expansão térmica (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Condutividade térmica | (W/mk) | 300 |
