Epitaxia de carboneto de silício

Epitaxia de Carboneto de Silício – Camadas epitaxiais de alta qualidade adaptadas para aplicações avançadas de semicondutores, oferecendo desempenho e confiabilidade superiores para dispositivos eletrônicos de potência e optoeletrônicos.

de Semícera Epitaxia de carboneto de silício foi projetado para atender às rigorosas demandas das aplicações modernas de semicondutores. Ao utilizar técnicas avançadas de crescimento epitaxial, garantimos que cada camada de carboneto de silício apresente excepcional qualidade cristalina, uniformidade e densidade mínima de defeitos. Estas características são cruciais para o desenvolvimento de eletrônica de potência de alto desempenho, onde a eficiência e o gerenciamento térmico são fundamentais.

O Epitaxia de carboneto de silício O processo da Semicera é otimizado para produzir camadas epitaxiais com espessura precisa e controle de dopagem, garantindo desempenho consistente em uma variedade de dispositivos. Este nível de precisão é essencial para aplicações em veículos eléctricos, sistemas de energia renovável e comunicações de alta frequência, onde a fiabilidade e a eficiência são críticas.

Além disso, a Semicera Epitaxia de carboneto de silício oferece maior condutividade térmica e maior tensão de ruptura, tornando-o a escolha preferida para dispositivos que operam sob condições extremas. Essas propriedades contribuem para uma vida útil mais longa do dispositivo e para uma melhor eficiência geral do sistema, especialmente em ambientes de alta potência e alta temperatura.

Semicera também oferece opções de personalização para Epitaxia de carboneto de silício , permitindo soluções personalizadas que atendem aos requisitos específicos do dispositivo. Seja para pesquisa ou produção em larga escala, nossas camadas epitaxiais são projetadas para suportar a próxima geração de inovações em semicondutores, permitindo o desenvolvimento de dispositivos eletrônicos mais potentes, eficientes e confiáveis.

Ao integrar tecnologia de ponta e rigorosos processos de controle de qualidade, a Semicera garante que nossos Epitaxia de carboneto de silício os produtos não apenas atendem, mas também excedem os padrões da indústria. Esse compromisso com a excelência faz de nossas camadas epitaxiais a base ideal para aplicações avançadas de semicondutores, abrindo caminho para avanços em eletrônica de potência e optoeletrônica.

Unid

Produção

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Fictício

Parâmetros de Cristal

Politipo

4H

Erro de orientação de superfície

<11-20 >4±0.15°

Parâmetros Elétricos

Dopante

Nitrogênio tipo n

Resistividade

0,015-0,025ohm·cm

Parâmetros Mecânicos

Diâmetro

150,0±0,2 mm

Grossura

350±25 µm

Orientação plana primária

[1-100]±5°

Comprimento plano primário

47,5±1,5mm

Apartamento secundário

Nenhum

TTV

≤5 µm

≤10 µm

≤15 µm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

Arco

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Urdidura

≤35 µm

≤45 µm

≤55 µm

Rugosidade frontal (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Estrutura

Densidade de microtubos

&lt;1 ea/cm2

&lt;10 ea/cm2

&lt;15 ea/cm2

Impurezas metálicas

≤5E10atoms/cm2

N / D

DBP

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

N / D

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

N / D

Qualidade frontal

Frente

Si

Acabamento de superfície

CMP de face Si

Partículas

≤60ea/wafer (tamanho≥0,3μm)

N / D

Arranhões

≤5ea/mm. Comprimento cumulativo ≤Diâmetro

Comprimento cumulativo≤2*Diâmetro

N / D

Casca de laranja/caroços/manchas/estrias/rachaduras/contaminação

Nenhum

N / D

Lascas/reentrâncias/fraturas/placas sextavadas nas bordas

Nenhum

Áreas politípicas

Nenhum

Área acumulada≤20%

Área acumulada≤30%

Marcação a laser frontal

Nenhum

Qualidade traseira

Acabamento traseiro

CMP face C

Arranhões

≤5ea/mm, comprimento cumulativo≤2*Diâmetro

N / D

Defeitos traseiros (lascas/recortes nas bordas)

Nenhum

Rugosidade nas costas

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Marcação a laser traseira

1 mm (da borda superior)

Borda

Borda

Chanfro

Embalagem

Embalagem

Epi-pronto com embalagem a vácuo

Embalagem cassete multi-wafer

*Notas: “NA” significa sem solicitação. Itens não mencionados podem referir-se ao SEMI-STD.

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