Susceptor de grafite LED UV profundo MOCVD revestido com TaC

O susceptor de grafite MOCVD com LED UV profundo revestido com TaC da Semicera foi projetado para desempenho superior em aplicações de epitaxia MOCVD. Fabricado na China, oferece maior durabilidade e maior resistência a temperaturas, tornando-o ideal para condições exigentes. A avançada tecnologia de revestimento da Semicera garante uma operação confiável e eficiente, apoiando a produção de LED UV profundo de alta qualidade.

A base de grafite LED ultravioleta profunda revestida com TaC refere-se ao processo de melhoria do desempenho e estabilidade do dispositivo, depositando um revestimento TaC na base de grafite durante a preparação do dispositivo LED ultravioleta profundo. Este revestimento pode melhorar o desempenho de dissipação de calor, resistência a altas temperaturas e resistência à oxidação do dispositivo, melhorando assim a eficiência e confiabilidade do dispositivo LED. Dispositivos LED ultravioleta profundo são geralmente usados ​​em alguns campos especiais, como desinfecção, fotopolimerização, etc., que possuem altos requisitos para a estabilidade e desempenho do dispositivo. A aplicação da base de grafite revestida com TaC pode efetivamente aumentar a durabilidade e o desempenho do dispositivo, fornecendo um suporte importante para o desenvolvimento da tecnologia LED ultravioleta profunda.

 

A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores. O processo de revestimento líder da Semicera permite que os revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, alta estabilidade de temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (susceptor de TaC revestido com grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.

 

Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia do CVD TaC com o esforço conjunto do departamento de P&D. É fácil ocorrer defeitos no processo de crescimento dos wafers de SiC, mas após o uso do TaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.

Revestimento de carboneto de tântalo de alta eficiência_ melhora a eficiência da produção industrial e reduz custos de manutenção Imagem em destaque

Parte Tac para crescimento de cristal único

Revestimento antidesgaste de carboneto de tântalo_ Protege o equipamento contra desgaste e corrosão Imagem em destaque

Grafite com anel revestido com TaC

Foto do WeChat_20240227150045

com e sem TaC

Foto do WeChat_20240227150053

Depois de usar TaC (direita)

Além disso, os produtos revestidos com TaC da Semicera apresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação com Revestimentos de SiC. Medições de laboratório demonstraram que nossos revestimentos TaC podem funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:

 

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Susceptor revestido com TaC

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Grafite com reator revestido com TaC

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Local de trabalho semicera

Local de trabalho de Semicera 2

Máquina de equipamento

Armazém Semicera

Processamento CNN, limpeza química, revestimento CVD

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