O anel guia de grafite revestido com TaC da Semicera Semiconductor é projetado para crescimento de cristal de carboneto de silício, proporcionando excepcional resistência ao desgaste e estabilidade térmica. Escolha Semicera para componentes confiáveis e de alto desempenho.
Os anéis guia de grafite revestidos com TaC referem-se à deposição de uma fina camada de carboneto de tântalo na superfície de um anel guia de grafite para melhorar sua resistência ao desgaste, resistência a altas temperaturas e estabilidade química. Este revestimento é geralmente formado na superfície de um anel guia de grafite por técnicas como deposição física de vapor (PVD) ou deposição química de vapor (CVD).
A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores. O processo de revestimento líder da Semicera permite que os revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, alta estabilidade de temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (susceptor de TaC revestido com grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia do CVD TaC com o esforço conjunto do departamento de P&D. É fácil ocorrer defeitos no processo de crescimento dos wafers de SiC, mas após o uso do TaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.
As principais características dos anéis guia de grafite revestidos com TaC incluem:
1. Resistência a altas temperaturas: o revestimento TaC tem excelente estabilidade em altas temperaturas e pode manter a estabilidade em ambientes de alta temperatura.
2. Resistência ao desgaste: A alta dureza da camada fina de carboneto de tântalo confere ao anel guia uma boa resistência ao desgaste e prolonga sua vida útil.
3. Estabilidade química: O revestimento TaC possui alta estabilidade contra corrosão química, tornando-o adequado para aplicações em alguns meios corrosivos.
4. Reduzir o atrito: o revestimento TaC pode efetivamente reduzir o atrito entre o anel guia de grafite e outros componentes e melhorar a eficiência das vedações mecânicas.
Além disso, os produtos revestidos com TaC da Semicera apresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação com Revestimentos de SiC. Medições de laboratório demonstraram que nossos revestimentos TaC podem funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
