O susceptor de grafite MOCVD revestido com TaC da Semicera foi projetado para alta durabilidade e resistência excepcional a altas temperaturas, tornando-o perfeito para aplicações de epitaxia MOCVD. Este susceptor aumenta a eficiência e a qualidade na produção de LED UV profundo. Fabricado com precisão, Semicera garante desempenho e confiabilidade de alto nível em cada produto.
O revestimento TaC é um importante revestimento de material, que geralmente é preparado à base de grafite pela tecnologia de deposição química de vapor orgânico metálico (MOCVD). Este revestimento possui excelentes propriedades, como alta dureza, excelente resistência ao desgaste, resistência a altas temperaturas e estabilidade química, e é adequado para diversas aplicações de engenharia de alta demanda.
A tecnologia MOCVD é uma tecnologia de crescimento de filme fino comumente usada que deposita o filme composto desejado na superfície do substrato, reagindo precursores orgânicos metálicos com gases reativos em altas temperaturas. Ao preparar o revestimento de TaC, selecionando precursores metálicos orgânicos e fontes de carbono apropriados, controlando as condições de reação e os parâmetros de deposição, um filme de TaC uniforme e denso pode ser depositado sobre uma base de grafite.
A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores. O processo de revestimento líder da Semicera permite que os revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, alta estabilidade de temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (susceptor de TaC revestido com grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia do CVD TaC com o esforço conjunto do departamento de P&D. É fácil ocorrer defeitos no processo de crescimento dos wafers de SiC, mas após o uso do TaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.
Além disso, os produtos revestidos com TaC da Semicera apresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação com Revestimentos de SiC. Medições de laboratório demonstraram que nossos revestimentos TaC podem funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
