A placa de grafite com revestimento de carboneto de tântalo da Semicera foi projetada para aplicações de alto desempenho em epitaxia de carboneto de silício e crescimento de cristais. Esta placa oferece estabilidade excepcional em ambientes de alta temperatura, corrosivos e de alta pressão. Ideal para uso em reatores avançados e estruturas de fornos, melhora o desempenho e a longevidade do sistema. Semicera garante qualidade e confiabilidade superiores com tecnologia de revestimento de ponta para necessidades exigentes de engenharia.
A folha de grafite revestida com carboneto de tântalo é um material de grafite com uma fina camada de carboneto de tântalo na superfície do substrato. A fina camada de carboneto de tântalo é geralmente formada na superfície do substrato de grafite por técnicas como deposição física de vapor (PVD) ou deposição química de vapor (CVD). Este revestimento possui excelentes propriedades, como alta dureza, excelente resistência ao desgaste, resistência à corrosão e estabilidade em altas temperaturas.
A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores. O processo de revestimento líder da Semicera permite que os revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, alta estabilidade de temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (susceptor de TaC revestido com grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia do CVD TaC com o esforço conjunto do departamento de P&D. É fácil ocorrer defeitos no processo de crescimento dos wafers de SiC, mas após o uso do TaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.
As principais vantagens da folha de grafite revestida com carboneto de tântalo incluem:
1. Resistência a altas temperaturas: O carboneto de tântalo tem um alto ponto de fusão e excelente estabilidade em altas temperaturas, tornando a folha de grafite revestida adequada para uso em ambientes de alta temperatura.
2. Resistência à corrosão: O revestimento de carboneto de tântalo pode resistir à erosão de muitas substâncias químicas corrosivas e prolongar a vida útil do material.
3. Alta dureza: A alta dureza da camada fina de carboneto de tântalo oferece boa resistência ao desgaste e é adequada para aplicações que exigem alta resistência ao desgaste.
4. Estabilidade química: O revestimento de carboneto de tântalo tem excelente estabilidade à corrosão química e é adequado para uso em alguns meios corrosivos.
Além disso, os produtos revestidos com TaC da Semicera apresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação com Revestimentos de SiC. Medições de laboratório demonstraram que nossos revestimentos TaC podem funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
