A placa de suporte do susceptor revestida com carboneto de tântalo da Semicera foi projetada para uso em epitaxia de carboneto de silício e crescimento de cristais. Fornece suporte estável em ambientes de alta temperatura, corrosivos ou de alta pressão, essencial para esses processos avançados. Comumente usado em reatores de alta pressão, estruturas de fornos e equipamentos químicos, garante desempenho e estabilidade do sistema. A inovadora tecnologia de revestimento da Semicera garante qualidade e confiabilidade superiores para aplicações de engenharia exigentes.
A placa de suporte do susceptor revestida com carboneto de tântalo é um susceptor ou estrutura de suporte coberta com uma fina camada de carboneto de tântalo. Este revestimento pode ser formado na superfície do susceptor por técnicas como deposição física de vapor (PVD) ou deposição química de vapor (CVD), dando ao susceptor as propriedades superiores do carboneto de tântalo.
A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores. O processo de revestimento líder da Semicera permite que os revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, alta estabilidade de temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (susceptor de TaC revestido com grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia do CVD TaC com o esforço conjunto do departamento de P&D. É fácil ocorrer defeitos no processo de crescimento dos wafers de SiC, mas após o uso do TaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.
As principais características das placas de suporte de base revestidas com carboneto de tântalo incluem:
1. Estabilidade em altas temperaturas: O carboneto de tântalo tem excelente estabilidade em altas temperaturas, tornando a placa de suporte de base revestida adequada para necessidades de suporte em ambientes de trabalho de alta temperatura.
2. Resistência à corrosão: O revestimento de carboneto de tântalo tem boa resistência à corrosão, pode resistir à corrosão química e à oxidação e prolongar a vida útil da base.
3. Alta dureza e resistência ao desgaste: A alta dureza do revestimento de carboneto de tântalo confere à placa de suporte de base uma boa resistência ao desgaste, o que é adequado para ocasiões que exigem alta resistência ao desgaste.
4. Estabilidade química: O carboneto de tântalo tem alta estabilidade a uma variedade de substâncias químicas, fazendo com que a placa de suporte de base revestida tenha um bom desempenho em alguns ambientes corrosivos.
Além disso, os produtos revestidos com TaC da Semicera apresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação com Revestimentos de SiC. Medições de laboratório demonstraram que nossos revestimentos TaC podem funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
