Disco planetário de carboneto de tântalo

O disco planetário de carboneto de tântalo da Semicera é um componente crítico em fornos epitaxiais semicondutores e é conhecido por sua excepcional resistência ao desgaste, alta dureza e estabilidade térmica. Amplamente utilizado em instrumentos de precisão, indústria aeroespacial e fabricação de semicondutores, este disco garante desempenho e durabilidade superiores. Os semicondutores Semicera garantem a mais alta qualidade e confiabilidade em sistemas de transmissão mecânica de alta precisão.

A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores. O processo de revestimento líder da Semicera permite que os revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, alta estabilidade de temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (susceptor de TaC revestido com grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.

 

O princípio de funcionamento do disco planetário de carboneto de tântalo é semelhante ao da transmissão por engrenagem planetária, no qual o disco planetário atua como um elemento de acionamento intermediário e realiza a transmissão de potência e o controle de movimento ao engrenar com as engrenagens internas e externas. O disco planetário geralmente possui múltiplas ranhuras de dentes que se engrenam com as engrenagens internas e externas para obter uma transmissão suave e alta saída de torque.

Revestimento de carboneto de tântalo de alta eficiência_ melhora a eficiência da produção industrial e reduz custos de manutenção Imagem em destaque

Parte Tac para crescimento de cristal único

Revestimento antidesgaste de carboneto de tântalo_ Protege o equipamento contra desgaste e corrosão Imagem em destaque

Grafite com anel revestido com TaC

Foto do WeChat_20240227150045

com e sem TaC

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Depois de usar TaC (direita)

As características do disco planetário de carboneto de tântalo são as seguintes:

1. Resistência ao desgaste: O material de carboneto de tântalo tem dureza e resistência ao desgaste extremamente altas, pode manter boa durabilidade sob condições de alta carga e movimento em alta velocidade e reduzir o desgaste e a perda por atrito.

2. Estabilidade em altas temperaturas: O carboneto de tântalo tem excelente estabilidade em altas temperaturas e pode funcionar por um longo tempo em ambientes de alta temperatura sem danos, o que é adequado para processos e aplicações de alta temperatura.

3. Baixo coeficiente de atrito: A superfície do carboneto de tântalo tem um baixo coeficiente de atrito, o que reduz a perda de energia e a geração de calor durante a transmissão e melhora a eficiência da transmissão.

4. Alta precisão e estabilidade: Os discos planetários de carboneto de tântalo são fabricados com excelente acabamento, alta precisão e estabilidade, e podem obter transmissão precisa e controle de posição.

Além disso, os produtos revestidos com TaC da Semicera apresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação com Revestimentos de SiC. Medições de laboratório demonstraram que nossos revestimentos TaC podem funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:

 

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Susceptor revestido com TaC

4

Grafite com reator revestido com TaC

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Local de trabalho semicera

Local de trabalho de Semicera 2

Máquina de equipamento

Armazém Semicera

Processamento CNN, limpeza química, revestimento CVD

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